仪器分类: | 正置 | 放大倍数: | 1000 |
物镜倍率: | 100 | 目镜倍率: | 10 |
滤色片: | 3 |
机型系列: PA80MET / PA80MET-T ( 落射 / 透反照明型 ) ● 载物台行程:200 x 200 mm ,PA120MET / PA120MET-T ( 落射 / 透反照明型 ) ● 载物台行程:300 x 300 mm 八寸晶圆检查显微镜 苏州卡斯图电子有限公司 12寸晶圆检查显微镜 麦克奥迪dai理商苏州卡斯图电子有限公司
采用前置低位粗微同轴调焦系列,即便在超大负荷 工作下也不会出现下滑现象,以及长期使用的可靠性。
超大行程移动平台,Z大移动范围:305mm X 305mm, 可适用于 12” 的晶圆、LCD 或 FPD 检测, 也可用于小尺寸样品的陈列检测,通过切换离合器手 柄可实现全行程范围内的快速移动。
多样的照明器可供选择:12V100W 卤素灯明场落 射照明,12V100W 卤素灯明暗场落射照明,可以 根据需要选择,电器全部内置主机,方便操作。
高精度物镜转换器:采用精密轴承设计,秉承了 Motic 轻巧舒适的手感和良好的重复定位精度及同心精度。
电动转换器 电动转换器提高了您的工作流程的速度,标志着 PA53MET 更方便地使用。根据您的需求和偏好,从软件、框架按钮 或控制器调整方法中进行选择,以进一步提高生产能力和 效率。
明场系列 暗场系列
机型 PA80MET PA80MET-T PA80MET-3D PA80MET-T-3D PA80MET-BD PA80MET-BD-T PA80MET-BD-3D PA80MET-BD-T-3D
光学系统 无限远校正光学系统 (CCIS®)
照明 反射 反射 / 透射 反射 反射 / 透射 反射 反射 / 透射 反射 反射 / 透射
观察筒
正像三目头部 (FN 25),倾斜角 20°,三筒光路 2 档选择:( 目视:相机 - 100: 0,0: 100)
正像双目头 (FN 25),倾斜角 20° ( 选配 )
目镜
UC-WF 10X/ 25,屈光度可调 +/- 5 ( 标配 )
N-WF 15X/16,屈光度可调 +/- 5( 选配 )
N-WF 20X/12.5,屈光度可调 +/- 5( 选配 )
转换器
五孔明场转换器带 DIC 插槽 五孔暗场转换器带 DIC 插槽
电动五孔明场转换器带 DIC 插槽 ( 选配 ) 电动五孔暗场转换器带 DIC 插槽 ( 选配 )
Plan S-APO 平场半复消色差 金相物镜
Plan S-APO 5X/0.15 Plan S-APO 10X/0.3 Plan S-APO 20X/0.45 Plan S-APO 50X/0.8 Plan S-APO 100X/0.9 ( 选配 )
Plan S-APO BD 5X/0.15 Plan S-APO BD 10X/0.3 Plan S-APO BD 20X/0.45 Plan S-APO BD 50X/0.8 Plan S-APO BD 100X/0.9 ( 选配 )
LPlan S-APO 长距平场半复消色 差金相物镜(选配)
LPlan S-APO 20X/0.4 LPlan S-APO 50X/0.55 LPlan S-APO 100X/0.8
LPlan S-APO BD 20X/0.4 LPlan S-APO BD 50X/0.55 LPlan S-APO BD 100X/0.8
调焦机构
行程范围:29.5 mm,粗调和微调手轮 粗调:17.7 mm / 转,微调:0.1 mm / 转 上限位,松紧调节环 电气 集成电源,用于直流 12V100W 调光。 LED 亮度指示,IL 开关和 ECO 开关
反射主体 Yes / / / Yes / / /
透反主体 / Yes / / / Yes / /
反射 3D 主体 / / Yes / / / Yes /
透反 3D 主体 / / / Yes / / / Yes
反射照明 柯勒照明系统 / 明场,DIC,简易偏光 柯勒照明系统 / 明场,暗场,DIC,简易偏光
光源 12V/100W 长寿命卤素灯泡
透射照明 / Yes / Yes / Yes / Yes
照明 /
柯勒照明系统明场 / 内置滤色片
/
柯勒照明系统明场 / 内置滤色片
/
柯勒照明系统明场 / 内置滤色片
/
柯勒照明系统明场 / 内置滤色片
光源 /
12V/100W 长寿 命卤素灯泡
/
12V/100W 长寿 命卤素灯泡
/
12V/100W 长寿 命卤素灯泡
/
12V/100W 长寿 命卤素灯泡
聚光镜 / LWCD, N.A 0.65 / LWCD, N.A 0.65 / LWCD, N.A 0.65 / LWCD, N.A 0.65
载物台
尺寸 : 325mm ( Z宽处 415mm) X 325mm 移动行程:200mm X 200mm 选配:晶圆台板
明场系列 暗场系列
机型 PA120MET PA120MET-T PA120MET-3D PA120MET-T-3D PA120MET-BD PA120MET-BD-T PA120MET-BD-3D
PA120MET-BD-T3D
光学系统 无限远校正光学系统 (CCIS®)
照明 反射 反射 / 透射 反射 反射 / 透射 反射 反射 / 透射 反射 反射 / 透射
观察筒
正像三目头部 (FN 25),倾斜角 20°,三筒光路 2 档选择:(目视:相机 - 100: 0,0: 100)
正像双目头 (FN 25),倾斜角 20°(选配)
目镜
UC-WF 10X/ 25,屈光度可调 +/- 5(标配)
N-WF 15X/16,屈光度可调 +/- 5(选配)
N-WF 20X/12.5,屈光度可调 +/- 5(选配)
转换器
五孔明场转换器带 DIC 插槽 五孔暗场转换器带 DIC 插槽
电动五孔明场转换器带 DIC 插槽(选配) 电动五孔暗场转换器带 DIC 插槽(选配)
Plan S-APO 平场半复消色差 金相物镜
Plan S-APO 5X/0.15 Plan S-APO 10X/0.3 Plan S-APO 20X/0.45 Plan S-APO 50X/0.8 Plan S-APO 100X/0.9(选配 )
Plan S-APO BD 5X/0.15 Plan S-APO BD 10X/0.3 Plan S-APO BD 20X/0.45 Plan S-APO BD 50X/0.8 Plan S-APO BD 100X/0.9(选配 )
LPlan S-APO 长距平场半复消色 差金相物镜(选配)
LPlan S-APO 20X/0.4 LPlan S-APO 50X/0.55 LPlan S-APO 100X/0.8
LPlan S-APO BD 20X/0.4 LPlan S-APO BD 50X/0.55 LPlan S-APO BD 100X/0.8
调焦机构
行程范围:29.5 mm,粗调和微调手轮 粗调:17.7 mm / 转,微调:0.1 mm / 转 上限位,松紧调节环 电气 集成电源,用于直流 12V100W 调光。 LED 亮度指示,IL 开关和 ECO 开关
反射主体 Yes / / / Yes / / /
透反主体 / Yes / / / Yes / /
反射 3D 主体 / / Yes / / / Yes /
透反 3D 主体 / / / Yes / / / Yes
反射照明 柯勒照明系统 / 明场,DIC,简易偏光 柯勒照明系统 / 明场,暗场,DIC,简易偏光
光源 12V/100W 长寿命卤素灯泡
透射照明 / Yes / Yes / Yes / Yes
照明 /
柯勒照明系统明场 / 内置滤色片
/
柯勒照明系统明场 / 内置滤色片
/
柯勒照明系统明场 / 内置滤色片
/
柯勒照明系统明场 / 内置滤色片
光源 /
12V / 100W 长寿 命卤素灯泡
/
12V / 100W 长寿 命卤素灯泡
/
12V / 100W 长寿 命卤素灯泡
/
12V / 100W 长寿 命卤素灯泡
聚光镜 / LWCD, N.A 0.65 / LWCD, N.A 0.65 / LWCD, N.A 0.65 / LWCD, N.A 0.65
载物台
尺寸 : 520mm X 400mm 移动行程:300mm X 300mm 选配:晶圆台板
PA120MET-BD PA120MET PA80MET PA80MET-BD 麦克奥迪金相显微镜