半导体冷热循环装置-应用特点

　　半导体冷热循环装置整个系统的液体循环是密闭的，系统带有膨胀容器，膨胀容器和液体循环系统是绝热的，不参与液体循环，只是机械的连接，不管循环液体的温度如何，膨胀容器中的介质始终保持室温。

　　由于整个液体循环是密闭的系统，所以低温时没有水汽的吸收，高温时没有油雾的产生。公司可以提供工作温度很广的导热油，所以同一台机器同一种导热介质可以实现-90℃--200℃的控温。

　　 半导体冷热循环装置的特点如下：      

     没有内循环的槽，内循环的体积小（大部分设备内循环的体积只有6-10L），有效功率密度大（W/L），升温和降温的速率很快，导热油的需求量也比较小。

　　 设备采用波浪形板式换热器，热交换面积大，热交换速度快。

　　 密闭的整个液体循环：高温时没有油雾的挥发，导热油不会被氧化或褐化；低温时不会吸收空气中的水汽，延长了导热油寿命，使用成本低。

　　 准确控制化学反应的温度，是安全控制放热反应的选择。

　　 设备采用PID智能控制，根据化学过程工艺自动调节功率的输出，准确控制反应过程的温度，满足反应工艺对温度变化的要求。

　　 特殊定制的循环泵，可以提供大的流速，产生小的压力和热量，达到高的热交换效率，小的系统阻力，小的泵系统热量，小的系统能耗。

　　 标准型采用PLC控制，更人性化的显示界面（人机界面），操作简单，可以显示工作过程的设定温度、出口温度、釜体内的温度变化曲线，实现程序的温度多段编程。

　　 标准型可以根据反应釜厂家提供的安全要求，设定釜体和夹套内的温度差，如果内外的温差达到厂家要求的安全限值，设备会自动停止工作并报警提示，保证反应釜不会因为温差过大而破裂。