等离子装置

可进行样品传输系统定制 ●  操作快捷方便：放入样品收纳盒、自动处理、取出收纳盒。 ●  软性基板也可以进行传送操作。 ●  传送速度可在Hi-Low间调节。 ●  可通过网络进行远程操作（选购品）。

样品传输系统为模块式，便于组合 用途 ●  提高各种材料的粘接性、表面改质处理 ●  清洗各类基板。 ●  电子部品、材料表面改质。 ●  去除有机物和自然氧化膜。 特点 ●  体积小，节省空间。

小型、多段式等离子清洗机 用途 ●  提高各种材料的粘接性、表面改质处理 ●  灰化、蚀刻处理 ●  塑料封装前处理 ●  印刷基板镀层前处理 ●  LED关联部品处理 ●  电子部品清洗 ●  光

13.56MHz高频输出的等离子清洗机，搭载RIE·DP双模式 使用等离子的表面处理装置。着重于“使用简单”的台式 高性能型号，调取数据简单，以电子材料为中心，可对应 多种用途。 特征 ●  可变更电

PDC200/210/510等离子清洗机 高频输出 300W（PDC200型）/500W（PDC210/510型）,电极尺寸 250×170mm（PDC200/210型）/410×170mm（

经济型、通过等离子化气体的活性作用对处理对象表面进行改质、清洗 特点 ● 经济型等离子清洗机。 ●  简单的等离子处理操作。 ● 无需高频使用申请。 值得期待的应用案例 ● 有机膜的去除（油，蜡等

从样品表面改质到清洗的小型台式等离子清洗机 用途 ●  高分子材料表面的官能基付与→粘合性、密着性提高。通   过氧化反应，在表面生成-OH，＞C=O，-COOH等官能   基（微量的水分及二氧化碳影

·PR500/510等离子灰化机 高频输出 50~500W,反应腔 Φ215×305mm  低温等离子·经典桶型。  PR500：手动控制 PR510：自动触摸屏控制 低温等离