CIF紫外臭氧清洗机
紫外臭氧清洗机(UVO),是一种简单,经济,快速高效的材料表面清洗设备,能快速去除大多数无机基材(比如石英,硅片,金,镍,铝,砷化镓,氧化铝等)上的有机污染物。
CIF紫外臭氧清洗机采用长寿命UV石英低压汞蒸汽格栅灯,样品台高度可调并可选加热控温,以便达到**清洗效果。
产品特点
u 可编程数字控制器,设置操作简单方便,四键操作控制。
u 数字计时显示清洗时间,1-999分钟之间可自行设置清洗时间。
u 任何时间可以手动中断处理过程。
u 自动记录之前清洗参数设置。
u 样品台可控温(可选),控温范围RT-260℃,控温精度0.1℃。
u 上置式样品台设计,360度自由放置样品,操作方便。
u 样品台高度可调,通过调节灯与样品之间的间距,可以合理定位样品高度和位置,位置可锁定。
u UV石英低压汞蒸汽格栅灯,灯管寿命大约为8000小时。
u 高强度UV灯源,波长185nm和254nm。
u UV反射罩(长X宽)比UV格栅灯大2.5cm,比如规格为13x13cm格栅灯反射罩尺寸大于15×15cm。
u 双重安全保护,当清洗腔打开时,系统安全锁会关掉UV灯,并有灯光通断提示。
u 带进&出气口双气路设计,可接入氧气,增加臭氧产量。
u 可选臭氧中和器,用于臭氧清除。
u 可根据客户要求定制铝或石英材料真空反应腔。
技术参数
产品型号 | UV灯尺寸cm | 样品台高度cm | 主机重量kg | 外型尺寸(LxWxH)cm |
UVO5/UVO5P/UVO5T | 13x13 | 10cm内可调 | 6 | 31x26x20 |
UVO9/UVO9P/UVO9T | 23x23 | 10cm内可调 | 12.5 | 60x50x20 |
注:UVO型基础型样品台不带加热功能,样品台高度不可调;UVOP可选配样品台加热功能,样品台高度可调;UVOT标配样品台加热功能,样品台高度可调。