氦离子气相色谱仪高纯气体电子气微量杂质分析仪

氦离子气相色谱仪高纯气体电子气微量杂质分析仪 

GC-9280PDD氦离子化气相色谱仪适用于高纯气体、超高纯气体及电子工业用气体中痕量杂质的检测。该产品以GC-9280气相色谱仪为载体，配备VALCO公司生产的氦离子化（PDHID）检测器；采用普瑞公司拥有专业技术的四阀五柱的中心切割与反吹技术，其中的所有进样和切换阀均为VALCO公司生产的带吹扫保护气路的六通或十通阀；上述部分与VALCO公司原装的氦气纯化器、无死体积取样阀等部件一起组成一套完整的高纯气体分析整体及解决方案。

GC-9280PDD氦离子化气相色谱仪成为行业内专业的高纯气体分析系统，很好的完成了气体中微量杂质，特别是ppb级的杂质的分析。 

氦离子气相色谱仪高纯气体电子气微量杂质分析仪

依据的标准:
1、高纯气标准
GB/T 8979-2008《高纯氮》

GB/T 14599-2008《高纯氧》
GB/T 4844.3-1995 《高纯氦》

GB/T 4842-2006《氩》
GB/T 7445-1995 《纯氢、高纯氢、超纯氢》

GB/T 17873-1999《纯氖》
GB/T 5829-1995《氪气》

GB/T 5828-1995《氙气》
HG/T 3633-1999《纯甲烷》

GB 10621-2006《食品添加剂 液体二氧化碳》

2、电子气标准    

氦离子化气相色谱仪
GB/T 16942-2009《电子工业用气体 氢》

GB/T 16943-2009《电子工业用气体 氦》
GB/T 16944-2009《电子工业用气体 氮》

GB/T 16945-2009《电子工业用气体 氩》
GB/T 14604-2009《电子工业用气体 氧》

GB/T 14600-2009《电子工业用气体 氧化氩氮》
GB/T 14601-2009《电子工业用气体 高纯氨》

GB/T 14602-93《电子工业用气体 氯化氢》
GB/T 14603-2009《电子工业用气体》

GB/T 18994-2003《电子工业用气体 高纯氯》
GB/T 14851-93《电子工业用气体 磷化氢》

GB/T 17874-1999《电子工业用气体 三氯化硼》
GB/T 15909-2009《电子工业用气体 硅烷》 

GB/T 21287-2007《电子工业用气体 三氟化氮》

GC-9280PDD氦离子化气相色谱仪

产品的特点:
◆ 气体行业专业色谱技术成套解决方案
◆ 采用VICI公司Valco带吹扫型十通与六通切换阀控制气路
◆ 应用气体分离专用色谱柱分离预切再分离技术
◆ 采用可分离与嵌入式单体控温柱炉
◆ 工艺流程采用多路精密零死体专用阀控制多维色谱分离柱流量
◆ 分析流程全部采用Valco公司316不锈钢管路与专用镀金接头
◆ 核心灵敏部件采用Valco公司PDHID脉冲氦离子检测器
◆ 成套专业化的数字与全中文反控气相色谱仪

PDHID氦离子化检测器

多柱箱系统 ：可以根据分析的需要设置不同的柱箱温度，以满足样品分离的需要

中心切割与反吹系统:
吹扫十通阀1只;吹扫六通阀3只. VALCO /普瑞 1套

配备4个带吹扫保护气路的阀：一次进样，

无需更换色谱柱即可完成对氢、氧、氮、氩、氦、氪、氙、

二氧化碳等多种样品中痕量杂质的分析。

氧吸附及 还原系统 普瑞 1套 含401氧吸附柱及氢气还原气路

色谱柱: Hayesep Q ; Hayesep R ; MS  * 3 支 普瑞 3根 可分离样品中的H2、O2、N2、CO、CO2、CH4等杂质
CO防拖尾处理技术

载气纯化器:
HP-2 VALCO 1台  杂质含量≤10ppb
载气过滤器 VALCO 1个 2μm孔径
样品过滤器 VALCO 1个 20μm孔径
标准气体  1套  含:H2,O2,Ar,N2,CO,CH4,CO2
高纯氦气:40L 1瓶 自备 / 纯度不低于99.999%
高纯氢气:40L 1瓶 自备 / 分析高纯氧时做为还原气使用
高纯氮气:40L 1瓶 自备 / 作为自动阀的驱动气使用
无死体积专用
取样阀带吹扫 普瑞 4个取样时防止空气渗入，带放空结构设计
载气专用两级
不锈钢减压阀 HORO 1个  HORO两级减压稳流

高纯气专用色谱工作站 普瑞 1套  自动控制切割、反吹、进样等过程；并实现对色谱主机的操作控制

PDHID对部分杂质的检测限（ppb）

杂质种类