小型台式无掩模光刻系统是英国Durham Magneto Optics公司专为实验室设计开发,为微流控、SAW、半导体、自旋电子学等研究领域提供方便GX的微加工方案。
Durham Magneto Optics Ltd.成立于2002年,现总部位于英国剑桥,是一家集研发、生产、销售于一体的企业。产品主要有磁光克尔效应磁强计、直写光学光刻机等,产品广泛应用于材料、电子、半导体等领域。
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