产品概述
真空固化的优势
•更快的流程:3.5小时vs 8个小时以上
•层流减少/消除了颗粒
•更彻底的固化(排气量减少5倍)
•减少膜应力,降低晶片翘曲
•功耗和N2消耗减少1.6到2倍
•大大降低了资本成本,降低了2-3倍的运营成本
PB8: 最多2个200mm晶圆盒
PB12: 最多2个300mm晶圆盒
技术参数
硬件
洁净室相容性:10级
箱体清洁度:1级
晶圆尺寸:最大200mm
容量:每批最多可容纳50个8英寸晶圆(两个25个晶圆盒)
工作温度:环境温度450°C
氮气流量:1 SCFM
耗氮量:15-25升/分钟。
内腔尺寸:36.62厘米(内径)x 66.52厘米(深)—(14.42“ x 26.19”)
腔室处理面积:23.95厘米(宽)x45.97厘米(深)x24.69厘米(高)—(9.43“ x
18.10”x 9.72“)
系统整体尺寸:68.96厘米(宽)x145.92厘米(深)x 77.87厘米(高)—(27.15“
x 57.45”x 30.64“)
控制台尺寸:59.44厘米(宽)x 96.01厘米(深)x 23.62厘米(高)—(23.4“ x
37.8”x 9.3“)
箱体材质:316L不锈钢
工艺气体输入:1个标准,最多3个可选
质量流量控制器:可选–最多3个用于气体混合
层流过滤器:100微米Mott™板式过滤器
清洁度:减少大多数应用中的颗粒
软件
配方数:8种温度曲线
每个配方的步数:16个程序步
分段时间范围:0-99小时
定时器设定分辨率:1分钟
性能
温度均匀性:所有温度点稳定15分钟后,在保压期间保持±5°C
平均升温速度(150°C-450°C):5°C / min。 空箱负荷
平均冷却速度(450°C-150°C):4°C / min。 空箱负荷
氧气浓度:本底超过10 ppm
配件
电源要求:208V,40 A,50/60 Hz,3相
重量(约):575磅(261公斤)
- 产品分类
- 品牌分类
- (加拿大)耐诺赛斯
- (美国)恩格耐雷欣
- (意大利)斯堤克
- (美国)美国YES
- (法国)OZ Biosciences
- (日本)旭日
- (深圳)泓腾
- (德国)艾卡
- (德国)德国WIGGENS
- (韩国)韩国CURIOSIS
- (德国)德国Memmert
- (法国)菲利亚斯
- (英国)英国Nickel-Electro
- (澳大利亚)澳大利亚Labwit
- (美国)美国CDC
- (英国)英国IT-IS
- (法国)法国Elveflow
- (美国)美国Sonaer
- (德国)德国KNF
- (韩国)哈尼儿
- (日本)日本星崎
- (美国)美国Scientific Industries
- (英国)英国格兰特
- (新北)群达
- (高雄)台湾洛科仪器
- (韩国)芬托赛恩斯
- (德国)德国伯托
- (济南)拜尔贝斯
- (奥地利)Kilobaser
- (日本)卡库函特
- (荷兰)荷兰Phenospex
- (美国)兰瑟
- (德国)OLS
- (法国)兰尔荷洛基
- (德国)德国SPS-保罗
- (美国)耐洛奈克斯
- (浦东新区)上海润度
- (台北)亚克斯
- (瑞典)瑞典Phiab
- (日本)玛撒
- (美国)艾尔赛恩斯
- (意大利)厄瑞杜
- (美国)艾库刍尔
- (瑞典)瑟林克
- (美国)伊刃
- (美国)斯特洛比克
- (无锡)雷博
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仪企号
上海迹亚国际商贸有限公司
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