高分辨无损伤光学3D测量 自动倾斜补偿
实时共焦成像 简单的数据分析模式
多种光学变焦 双Z扫描
大范围拼接 半透明基材的特征检测
实时CCD明场和共聚焦成像 无样品准备
自动聚焦
韩国Nanoscope Systems 激光三维表面轮廓仪 NS3600 核心参数
激光波长: | 638nm | 激光功率: | 2 mW |
放大倍数: | 10-150X | 水平分辨率: | 140nm |
Z轴分辨率: | 20nm |
详细介绍
Nanoscope Systems NS3600激光三维表面轮廓仪
NS-3600是一款高速三维激光表面轮廓仪,可用于精确可靠的3维(3D)测量。 通过快速光学扫描模块和信号处理算法可实现实时共聚焦显微图像。
这是测量和检查微观3D结构有前途的解决方案,例如半导体晶圆,FPD产品,MEMS器件,玻璃基板和材料表面。
Features & Benefits(性能及优势):
Software (软件):
Application field(应用领域):
NS-3600是测量低维材料的有前途的解决方案。
可测量微米和亚微米结构的高度,宽度,角度,面积和体积,例如
-半导体:IC图形,凹凸高度,线圈高度,缺陷检测,CMP工艺
- FPD产品:触摸屏屏幕检测,ITO图案,LCD柱间距高度
- MEMS器件:结构三维轮廓,表面粗糙度,MEMS图形
-玻璃表面:薄膜太阳能电池,太阳能电池纹理,激光图案
-材料研究:模具表面检测,粗糙度,裂纹分析
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产品优势
高分辨无损伤光学3D测量
自动倾斜补偿
实时共焦成像
简单的数据分析模式
多种光学变焦
双Z扫描
大范围拼接
半透明基材的特征检测
实时CCD明场和共聚焦成像
无样品准备
自动聚焦
自动倾斜补偿
实时共焦成像
简单的数据分析模式
多种光学变焦
双Z扫描
大范围拼接
半透明基材的特征检测
实时CCD明场和共聚焦成像
无样品准备
自动聚焦
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