详细介绍
产品介绍：
SMEE 300系列光刻机 —— LED、MEMS、Power Devices
SSB300系列步进投影光刻机面向6英寸以下中小基底光刻应用领域，满足HB-LED、MEMS和Power Devices等领域单面或双面光刻工艺需求。
产品特征
● 高分辨率，分辨率可达0.8μm
● 高速在线MAPPING技术
● 多尺寸基底自适应切换
● 高产能
● 高精度套刻
● 完 美匹配ALIGNER
主要技术参数
型号 | SSB300 | SSB320 | SSB380 |
分辨率 | 0.8微米 | 2微米 | 1.5微米 |
曝光光源 | i-line mercury lamp | ||
基底尺寸 | 100/150 mm | 100/150 mm | 100/150 mm |
工艺应用 | 支持LED PAD/PSS工艺 | 支持LED PAD工艺 | |
可选配置 | 背面对准和可变狭缝（Variable Slit） | ||
产品优势
SSB300系列步进投影光刻机面向6英寸以下中小基底光刻应用领域，满足HB-LED、MEMS和Power Devices等领域单面或双面光刻工艺需求。
