产品介绍:
Film Sense 多波长椭偏仪 FS-1™
Film Sense FS-1™多波长椭偏仪采用寿命长, LED 光源和非移动 式部件椭偏探测器,可在操作简单的紧凑型椭偏仪中实现快速和可靠地薄膜测量。大多数厚度 0–1000 nm 的透明薄膜只需要简单的 1 秒测量,就可以获得准确的数据。还可以测量大多数样品的光学常数和其他薄膜特性。
Film Sense FS-1™多波长椭偏仪 这款功能强大的多波长椭偏仪,FS-1可应用于研究实验室,超净间,原位工艺腔体以及工业质量控制等诸多领域。
主要特点
1. 4 个 LED 光源:蓝色(465nm),绿色(525nm), 黄色(580nm),红色(635nm)。
2. 椭偏仪探测器中无可移动部件。
3. 大多数样品精密度在于 0.001nm(1 秒获取数据),对于亚单原子薄膜精密度等于0.001nm。
4. 集成计算机,可实现对设备控制和数据分析,自带浏览器界面,可兼容任何现代计算机,笔记本或平板电脑。
优势
1. 寿命长(长达50,000小时),更换 LED 灯便宜,校准时间短或无需PM程序
2. 快速测量(10ms 内获得多波长数据)和长期性能稳定
3. 测量准确,椭偏仪可以实现
4. 软件设置和维护简单
标准 FS-1 配置
1. 65°入射角
2. 手动放置样品和调节高度
3. 样品尺寸最 大直径200mm 和厚度23mm
4. 样品偏转范围+/-20
5. 样品上光束尺寸 5 x 12 mm
6. 结构紧凑(180 x 400 mm) 和轻巧(4.8 kg)
性能
FS-1多波长椭偏仪擅长测量膜厚范围 0-1000nm 的透明单一薄膜的厚度和折射率。下表列出的是针对各种不同样品,包括多层膜样品。
应用领域
1. 半导体行业:二氧化硅和氮化物,高介电和低介电材料,非晶和多晶材料,硅薄膜,光刻胶。
2. 光学薄膜行业:高和低指数薄膜,如 SiO2, TiO2, Ta2O5, MgF2 等。
3. 显示屏行业:TCO(如 ITO),非晶硅薄膜,有机薄 膜(OLED 技术)。
4. 数据存储行业:宝石,如碳膜。
5. 工艺研发:原位表征薄膜沉积(速率和光学常数) VS 工艺条件,可兼容 MBE, MOCVD, ALD 和磁控溅射等设备。
6. 化学和生物:在液体细胞实验中探测亚单原子层材料吸附。
7. 工业:在线监测和控制膜厚。