Osiris 桌面型匀胶机 旋涂机 热板BASIXX ST20+

产品简介

BASIXX ST20 +是一款桌面式匀胶机系统，性价比高，具有匀胶、清洗、显影和干燥等多种功能，样品尺寸为8寸晶圆或者150mm*150mm方片，广泛用于大学，研究所等科研实验室。

产品特色

1. 桌面版本的紧凑型设计

2. 手动装载/卸载

3. 衬底可达 Ø200 mm (Ø8 inch) 或 150 x 150 mm (6 x 6 inch)

4. 软件提供用户友好的操作

5. 直驱旋涂电机

6. 全轴电机驱动且完全可编程

7. 带安全中断传感器的透明盖

8. 可更换并易于拆卸的工艺腔和防溅环，方便清洁。

9. 系统材料可抵抗所有类型的抗蚀剂和溶剂以及各种清洁介质。 (PP-聚丙烯)

10. 包含 0.5 升废液瓶

技术数据

1. 衬底尺寸: 可达 Ø200 mm (Ø8 inch) 或 150 x 150 mm (6 x 6 inch)

2. 电机转速:  10.000 rpm，步长 1 rpm

3. 电机加速:  4.000 rpm/s

4. 步进时间: 1 至 999.9 s，步长为 0.1 s

5. 工作腔材料: PP 

6. 系统架构材料: PP 

7. 液体线路：

   3线 : 2 x 24 V / 1 Amp (每条) / 触发点 0.1 秒 - ∞

   5线: 6 x 24 V /  1 Amp (每条) / 触发点 0.1 秒 - ∞

选项

1. 自动液体输送臂

2. 液体罐

3. 防溅环

4. 废液池

5. DI水冲洗

6. N2吹扫

7. 热板

8. 不同类型的夹具

9. 中心定位模块