产品特点：
双面点针探针台可用于晶圆和PCB板测试，用 于需要正面和背面同时扎针，以实现各种光/电性能测试需求的测试设备。该定制探针台具有优良的机械系统，稳定的结构，符合人体工程学，以及多项升级功能。可广泛应用于集成电路、Wafer ，LED LCD、太阳能电。
产品优势：
可同时完成DC和RF测试大手柄双驱动，省时，省力，省心双光路系统，上光路可升级加载光电流系统。
型号 技术参数 | SH-6 | SH-8 | SH-12 | |
台体 | 整机尺寸（mm） | 700mmL*700mmW*720mmH | 750mmL*750mmW*720mmH | 880mmL*880mmW*720mmH |
重量 | 85kg | 100kg | 160kg | |
卡盘大小 | 6" ,360 度转动, 可微调 | 8"，360 度转动，可微调 | 12"，360 度转动，可微调 | |
卡盘行程和精度 | 6"*6"，精度10um | 8"*8"，精度10um | 12"*12"，精度 10um | |
卡盘材质 | 高透射玻璃或者镂空 | |||
固定方式 | 机械式压片固定，尺寸可调 | |||
卡盘升降功能 | Chuck可以上下快速升降5mm和微调升降6mm，精度1微米 | |||
可选附件 | 射频校准台；chuck 360度快速移动；探针座平台升降；加热等 | |||
针座平台 | 类型 | 双面点针平台，单个平台最多可放置8个DR/L-100探针座 | ||
材质 | U型平台，镀镍，与探针座之间具备更强吸附力，带接地端子 | |||
正面光学系统 | 倍率范围 | 16X~100X/60X~420X/20X~4000X | ||
显微镜行程 | 具备高刚性龙门架结构，XYZ行程分别为2英寸*2英寸*2 英寸，精度1um | |||
CCD 成像系统 | 200 万/500 万像素，帧率 60fps，带拍照、录像、测量功能 | |||
背面光学系统 | 显微镜类型 | L型单筒显微镜 | ||
连续变倍比 | 0.75X~5X | |||
倍率范围 | 40X~280X（可选高倍物镜增加倍率） | |||
CCD 成像系统 | 200 万/500 万像素，帧率60fps，带拍照、录像、测量功能 | |||
探针座 | 类型 | DR/L-200m/V和DR/L-100m/V | ||
X-Y-Z 行 程 | 12.5mm-12.5mm-12.5mm | |||
机械精度 | 0.5um/0.7um | |||
夹具 | 漏电精度 | 10pA/100fA | ||
接口形式 | 香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴接口/SMA /裸线等 | |||
选件 | 屏蔽箱/防震桌/射频探针卡/光电流显微镜/大功率 | |||
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上海波铭科学仪器有限公司
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