原子层沉积系统

原子层沉积（Atomic Layer Deposition，ALD），也称为原子层外延（Atomic Layer Epitaxy，ALE），或原子层化学气相沉积（Atomic Layer Chemic...

产品特点： - 兼容4,6,8,12寸样品； - 所有检测数据，一步同时完成测量； - 可在一台仪器上搭配不同技术的测量探头，用于测量晶圆的厚度、TTV、Bow、Warp、RST、...

Beneq Transform® 凭借多功能性和灵活性，制造了全新的ALD集群工具设备。可适用于广泛的应用场景并满足不同的市场细分。

eneq P400A 和 P800 是专为工业规模生产设计的原子层沉积系统。它们是从研发阶段到大规模的工业化生产的理想工具。该系统经过工业认证，技术成熟可靠。该设计主要基于在严苛的工业应用中连续运行2...

eneq Transform® 凭借多功能性和灵活性，制造了全新的ALD集群工具设备。可适用于广泛的应用场景并满足不同的市场细分。Beneq Transform™配置多个ALD工艺模块，以满足特定的晶...

适用于大批量生产和厚膜堆叠生产。