场发射电子显微镜 核心参数
电子枪: | 场发射 | 加速电压: | 调整范围:0.02-30 kV(无需减速模式实现) |
放大倍数: | 10-1,000,000× | 分辨率: | 0.8nm @15 kV 1.6 nm @1kV |
详细介绍
技术参数
▪ 分辨率: 0.8nm @15 kV 1.6 nm @1kV
▪ 放大倍数:10-1,000,000×
▪ 加速电压:调整范围:0.02-30 kV(无需减速模式实现)
▪ 探针电流: 4pA-20nA (40nA&100nA可选)
▪ 低真空范围:2-133Pa(Sigma 500可用)
▪ 样品室: 358 mm(φ),270.5 mm(h)
▪ 样品台:5轴优中 心全自动
▪ X=125 mm(可选130mm)
▪ Y=125 mm(可选130mm)
▪ Z=50 mm
▪ T=-10º-90º
▪ R=360º 连续
▪ 系统控制:基于Windows 7的SmartSEM操作系统,可选鼠标、键盘、控制面板控制
产品优势
技术参数
▪ 分辨率: 0.8nm @15 kV 1.6 nm @1kV
▪ 放大倍数:10-1,000,000×
▪ 加速电压:调整范围:0.02-30 kV(无需减速模式实现)
▪ 探针电流: 4pA-20nA (40nA&100nA可选)
▪ 低真空范围:2-133Pa(Sigma 500可用)
▪ 样品室: 358 mm(φ),270.5 mm(h)
▪ 样品台:5轴优中 心全自动
▪ X=125 mm(可选130mm)
▪ Y=125 mm(可选130mm)
▪ Z=50 mm
▪ T=-10º-90º
▪ R=360º 连续
▪ 系统控制:基于Windows 7的SmartSEM操作系统,可选鼠标、键盘、控制面板控制
▪ 分辨率: 0.8nm @15 kV 1.6 nm @1kV
▪ 放大倍数:10-1,000,000×
▪ 加速电压:调整范围:0.02-30 kV(无需减速模式实现)
▪ 探针电流: 4pA-20nA (40nA&100nA可选)
▪ 低真空范围:2-133Pa(Sigma 500可用)
▪ 样品室: 358 mm(φ),270.5 mm(h)
▪ 样品台:5轴优中 心全自动
▪ X=125 mm(可选130mm)
▪ Y=125 mm(可选130mm)
▪ Z=50 mm
▪ T=-10º-90º
▪ R=360º 连续
▪ 系统控制:基于Windows 7的SmartSEM操作系统,可选鼠标、键盘、控制面板控制
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仪企号
北京华纳微科技有限公司
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