场发射电子显微镜 核心参数
| 电子枪: | 场发射 | 加速电压: | 调整范围：0.02-30 kV（无需减速模式实现） |
| 放大倍数: | 10-1,000,000× | 分辨率: | 0.8nm @15 kV 1.6 nm @1kV |
详细介绍
技术参数
▪ 分辨率： 0.8nm @15 kV 1.6 nm @1kV
▪ 放大倍数：10-1,000,000×
▪ 加速电压：调整范围：0.02-30 kV（无需减速模式实现）
▪ 探针电流： 4pA-20nA （40nA&100nA可选）
▪ 低真空范围：2-133Pa（Sigma 500可用）
▪ 样品室： 358 mm（φ），270.5 mm（h）
▪ 样品台：5轴优中 心全自动
▪ X=125 mm（可选130mm）
▪ Y=125 mm（可选130mm）
▪ Z=50 mm
▪ T=-10º-90º
▪ R=360º 连续
▪ 系统控制：基于Windows 7的SmartSEM操作系统，可选鼠标、键盘、控制面板控制
产品优势
技术参数
▪ 分辨率： 0.8nm @15 kV 1.6 nm @1kV
▪ 放大倍数：10-1,000,000×
▪ 加速电压：调整范围：0.02-30 kV（无需减速模式实现）
▪ 探针电流： 4pA-20nA （40nA&100nA可选）
▪ 低真空范围：2-133Pa（Sigma 500可用）
▪ 样品室： 358 mm（φ），270.5 mm（h）
▪ 样品台：5轴优中 心全自动
▪ X=125 mm（可选130mm）
▪ Y=125 mm（可选130mm）
▪ Z=50 mm
▪ T=-10º-90º
▪ R=360º 连续
▪ 系统控制：基于Windows 7的SmartSEM操作系统，可选鼠标、键盘、控制面板控制
▪ 分辨率： 0.8nm @15 kV 1.6 nm @1kV
▪ 放大倍数：10-1,000,000×
▪ 加速电压：调整范围：0.02-30 kV（无需减速模式实现）
▪ 探针电流： 4pA-20nA （40nA&100nA可选）
▪ 低真空范围：2-133Pa（Sigma 500可用）
▪ 样品室： 358 mm（φ），270.5 mm（h）
▪ 样品台：5轴优中 心全自动
▪ X=125 mm（可选130mm）
▪ Y=125 mm（可选130mm）
▪ Z=50 mm
▪ T=-10º-90º
▪ R=360º 连续
▪ 系统控制：基于Windows 7的SmartSEM操作系统，可选鼠标、键盘、控制面板控制
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仪企号
北京华纳微科技有限公司
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