探针台

低温液氮探针台产品主要是由真空腔体、探针控制、显微镜模块、变温样品台、进口分子泵组、全旺程真空规、智能温控仪等组成。

干式液氦温区探针台产品特点，真空腔体：真空度优于610-4 Pa。降温后优于610-5 Pa。留有2个用户法兰接口（KF40可接入气体或者额外的电缆）

室温自动探针台，高可靠性探针台系统，主要应用在半导体/微电子， 电子，机电，物理，化学，材料，光电，纳米，微机电/MEMs，生物芯片等科学研究领域，以及IC设计/制造/测试/封装、LED、LCD/OL...

手动探针台系统,可定制手动探针台系统，整套系统包配置有探针台主体、显微镜、针座、探针线缆、探针等。

SEM纳米探针台产品实现了三维空间上的准确定位， 它具有分辨率高，尺寸紧凑，行程大，操作简单，能在真空下使用等优点，可应于SEM真空腔体内完成各种纳米精度运动操作。

ZP3-4微纳探针台可在纳米尺度上对样品和测试设备进行电学表征。