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Filmetrics®电阻测试仪在超过45年的电阻测量创新和技术专长的基础上开发而成。自从1975年ADE 6035电阻计问世到Tencor Instruments、Prometrix和Filmetr...

Filmetrics®电阻测试仪在超过45年的电阻测量创新和技术专长的基础上开发而成。自从1975年ADE 6035电阻计问世到Tencor Instruments、Prometrix和Filmetr...

ZetaScan是针对无图案晶圆/玻璃面板的激光检测系统，它采用多通道检测技术对玻璃上的缺陷进行检测和分类。扫描光束光学系统将高灵敏度与高产量相结合，可在几分钟内检测全部表面。通过扫描生成晶圆图，可以...

Candela 8720缺陷检测系统集成了表面和光致发光(PL)检测技术，能够捕获各种关键的衬底和外延缺陷。使用统计工艺控制(SPC)方法的自动化晶圆检测可显着降低因外延缺陷导致的良率损失，Z大限度地...

Candela 8520第二代集成式光致发光(PL)和表面缺陷检测系统专为SiC和GaN衬底和外延晶圆缺陷进行高级表征而设计。使用统计工艺控制(SPC)方法的自动化晶圆检测可显降低因衬底和外延缺陷而导...

Candela 8420是采用多通道探测技术的表面缺陷检测系统，可以在砷化镓 (GaAs)、磷化铟 (InP)、钽酸锂、铌酸锂、玻璃、蓝宝石等不透明、半透明和透明化合物半导体材料晶圆上提供颗粒、划痕、...

InSEM®HT（高温）通过在真空环境中分别独立加热压头和样品以测量高温下的硬度、模量和刚度。 InSEM HT与扫描电子显微镜（SEM）和聚焦离子束（FIB）工作室，或独立的真空工作室兼容。 配有的...

NanoFlip纳米压痕仪可在真空和常压条件下对硬度、模量、屈服强度、刚度和其他纳米力学测试进行高精确度的测量。在扫描电子显微镜（SEM）和聚焦离子束（FIB）系统中，NanoFlip在测试（例如柱压...

T150 UTM拉伸测量仪能够测量材料的应变率敏感度对时间的响应。 它采用电磁传感器产生拉力（形成样品上的负载），并结合精确的电容传感，在很大的应变范围内提供高灵敏度测量。 它还允许用户使用动态表征模...

Nano Indenter® G200系统专为各种材料的表征和开发过程中进行纳米级测量而设计。 该系统是一个完全可升级，可扩展且经过生产验证的平台，全自动硬度测量可应用于质量控制和实验室环境。

iNano®纳米压痕仪可轻松测量薄膜、涂层和少量材料。 该仪器准确、灵活，并且用户友好，可以提供压痕、硬度、划痕和通用纳米级测试等多种纳米级机械测试。 该仪器的力荷载和位移测量动态范围很大，因而可以实...

NanoIndenter G200X纳米级力学测试平台，简单易用，能够快速准确的提供各种定量的力学测试结果。G200X系统能够轻松表征广泛的材料力学性能，从硬质涂层到超软聚合物样品，并针对不同应用提供...

iMicro纳米压痕仪可轻松测量硬涂层，薄膜和少量材料。该仪器准确、灵活，并且用户友好，可以提供压痕、硬度、划痕和通用纳米级测试等多种纳米级机械测试。 可互换的驱动器能够提供大动态范围的力荷载和位移，...

Zeta-388支持3D量测和成像功能，并提供整合隔离工作台和晶圆盒到晶圆盒的晶圆传送系统，可实现全自动测量。该系统采用ZDot™技术，可同时采集高分辨率3D数据和True Color（真彩）无限远焦...

Zeta-300支持3D量测和成像的功能，并提供整合隔离工作台和灵活的配置，可用于处理更大的样品。该系统采用ZDot™技术，可同时采集高分辨率3D数据和True Color（真彩）无限远焦点图像。Ze...

Zeta-20是一款紧凑牢固的全集成光学轮廓显微镜，可以提供3D量测和成像功能。该系统采用ZDot™技术，可同时采集高分辨率3D数据和True Color（真彩）无限远焦点图像。 Zeta-20具备M...