InForce 50驱动器,压头可加热,用于电容位移测量,并配有电磁启动的可互换探头
样品可升温至800°C,采用10mm样品尺寸和真空兼容的样品安装系统
InQuest高速控制器电子设备,具有100kHz数据采集速率和20μs时间常数
用于样本定位的XYZ移动系统
SEM视频捕获,可以将SEM图像和测试数据进行同步
独特的软件集成压头校准系统,可实现快速,准确的压头校准
与Windows®10兼容的InView控制和数据查看软件以及协助用户设计实验的方法开发功能
高温测试
硬度和模量测量(Oliver-Pharr)
连续刚度测量
高速材料性质分布
蠕变测量
应变率灵敏度
大学、研究实验室和研究所
航空航天
汽车制造业
硬涂层
核能
军事/国防
产品描述
InSEM HT高温测试系统可在真空环境中对压头和样品分别独立进行加热,并与许多SEM/FIB工作室或独立真空工作室兼容。 系统温度可高达800°C,因而可以模拟现场极端温度条件,以获得可靠一致的测试数据。钼支架上的单晶碳化钨压头经过优化,可用于高温测试应用,并可提供多种几何形状。
主要功能
主要应用
工业应用
应用
硬度和模量测量(Oliver-Pharr )
机械表征在新材料的研究和开发中至关重要。 InSEM HT纳米压痕仪可测量各种材料的硬度,尤其是监测热应力下机械性能的变化。
连续刚度测量 (CSM)
连续刚度测量用于量化动态材料特性,例如应变率和频率引起的影响。InSEM HT纳米压痕仪提供0.1Hz至1kHz的动态激发,采用随时间变化进行监测以准确确定初始表面接触,并根据深度或频率持续对接触刚度进行测量。
材料特性分部
对于包括复合材料在内的许多材料,其机械性能可能因部位而异。InSEM HT的样品平台可以在X轴和Y轴上移动20mm,并在Z轴方向移动25mm,使得该系统适用于不同的样品高度并可以在样品区域上进行测量。可选的NanoBlitz形貌和断层 成像软件可以快速绘制任何测得的机械属性的彩色分布图。
高温测试
许多工业领域的材料研究不仅注重机械应力也关注热应力下的材料性能。InSEM HT专为先进技术应用中的下一代材料测试而设计,如航空航天、汽车和军事/国防。
蠕变测量
随着载荷增加和温度升高,材料会发生变形。蠕变是机械和热应力共同作用下随时间变化对于应变的测量,蠕变行为对于汽车和航空航天系统的有效设计至关重要。 InSEM HT可将温度升高至800°C,同时监测材料应变。
应变率灵敏度
应变率灵敏度将应变量化为与各种负载条件的函数关系。例如,在短时间内对材料施加机械和/或热应力与缓慢向样品施加应力相比可能产生不同应变结果。InSEM HT允许用户自定义实验,在温度可升至800°C的条件下测量应变灵敏度与负载条件的函数关系。
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科磊半导体设备技术(上海)有限公司
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