检测玻璃晶圆和面板上的缺陷
手动最 大支持Gen2尺寸的面板，厚度为最 大支持2.5mm的样品
侦测颗粒、划痕、凹坑、凸起、污渍和其他表面缺陷
衬底质量控制
衬底供应商比较
入厂晶圆质量控制 (IQC)
出厂晶圆质量控制 (OQC)
CMP（化学机械抛光工艺）/抛光工艺控制
晶圆清洗工艺控制
外延工艺控制
衬底与外延相关分析
外延反应设备供应商比较
工艺设备监控
详细介绍
产品介绍
ZetaScan为显示器和太阳能应用提供高产量面板检测，其中包括玻璃上表面和下表面的颗粒、凹坑、凸起、划痕、嵌入缺陷，以及GaAs上的薄膜缺陷。宏观与微观缺陷的分类结合了光学特征和缺陷属性。ZetaScan检测系统的高灵敏度提供了一种经济高效的解决方案，适用于工艺开发和大批量制造工艺监控。
主要功能
应用案例
产品优势
ZetaScan是针对无图案晶圆/玻璃面板的激光检测系统，它采用多通道检测技术对玻璃上的缺陷进行检测和分类。扫描光束光学系统将高灵敏度与高产量相结合，可在几分钟内检测全部表面。通过扫描生成晶圆图，可以对玻璃上表面和下表面颗粒进行自动缺陷分类。
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仪企号
科磊半导体设备技术（上海）有限公司
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