Zeta-388支持3D量测和成像功能,并提供整合隔离工作台和晶圆盒到晶圆盒的晶圆传送系统,可实现全自动测量。该系统采用ZDot™技术,可同时采集高分辨率3D数据和True Color(真彩)无限远焦...
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