SplitFlow
产品优势
客户收益
■ 取代多个涡轮分子泵
■ 极大地降低成本
■ 基于整体式设计降低3件数量,
■ 极大地提高了设备的稳定性及维护保养的速度
■ 可在现场更换滚珠轴承
■ 与系统紧密结合
■ 独立的机械和真空设计
■ 充分满足客户定制化需求
分子泵型号
抽速 l/s
启动压强 hPa
极限压力
启动时间
氮气
氦气
氢气
hPa
min
SplitFlow™ 50
53
27
21
20
< 4X10–7
1.3
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