型号:PMT-100C小型实验真空等离子处理仪
主机尺寸:W600×D500×H400mm
真空室规格:Φ160mm×D210mm,石英玻璃(4L)
电极板规格:120mm×180mm,单层
样品放置:平放/悬挂均可
电极结构:外置环形电极
电源系统:AC220V(±20%)
等离子发生器频率: 40KHz
等离子发生器功率:0~100W可调
流量计:两路,浮子流量计
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