电子枪: | 场发射 |
二手日立S-4300场发射电镜设计具有以下特点:
1) 高亮度光源肖特基场发射扫描电子显微镜
2) 高探针电流
3) 长、短程电子束稳定
4) 高分辨率
S-4300SE可以与多种附件相结合,如阴J发光(CL),背反射电子衍射图形(EBSP),X-射线能谱(EDX),电子描画(EB)。
技术指标
二次电子成像分辨率:1.5nm(30kV), 5.0nm(1kV)
20x~5,000,000x
电子光学:
电子枪:ZrO/W 肖特基发射电子源 (内置阳J加热)
加速电压:0.5~30 kV (0.1kV/步)
透镜系统:2级电磁透镜
物镜光阑:4孔光阑,真空外选择和调校,加热自清理薄光阑板.
象散校正:电磁象散校正器
扫描线圈:2级电磁系统肖特基场发射扫描电子显微镜
样品台:(1)标准台X:0~25 mmY:0~25 mm
Z:5~ 30 mm 倾斜: -5~+45°(优中心)
旋转:360°(连续)
样品尺寸:直径120mm (Z大)
(2)大样品台X:0~100 mm Y:0~50mm
Z:5~35 mm 倾斜: -5~+60°(优中心)
旋转:360°(连续)
样品尺寸:直径160mm (Z大)
(3)大的优中心样品台
X:0~100mm Y:0~50 mm Z:5~35 mm
倾斜: -5~+75°(优中心) 旋转:360°(连续)
样品尺寸:直径160mm (Z大)肖特基场发射扫描电子显微镜
图像显示系统:
CRT显示语言:100 mmdia. × 17mm H
PC操作系统 :(150 mmdia. × 6 mm H 可选)
二手日立S-4300场发射电镜操作:
显示器:英语(日语)
自动调整功能:PC/AT兼容, Windows NT
图像过程: 17 或 21 英寸彩色CRT
图像储存:自动聚焦,自动象散校正,自动亮度、对比度调节,自动启动,自动摄像
图像编辑:
文件格式:SEM数据管理软件
自动数据显示:640 x 480,1,280 x 960,2,560 x 1,920pixels 具有多种搜索功能的图像数据库.
电子图像移动:BMP (TIFF, JPEG)
真空系统:加速电压,放大微米标尺,微米值,胶卷号,工作距离,日期,时间,摄像放大倍率,检测器.
离子泵:±30 μm (WD = 30 mm)
前级泵:气动阀全自动控制
涡管泵:~10-7 Pa (电子枪), ~10-4 Pa (样品室)
1) 高亮度光源肖特基场发射扫描电子显微镜
2) 高探针电流
3) 长、短程电子束稳定
4) 高分辨率
S-4300SE可以与多种附件相结合,如阴J发光(CL),背反射电子衍射图形(EBSP),X-射线能谱(EDX),电子描画(EB)。
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