电子枪: | 场发射 | 加速电压: | 0.02 - 30 KV |
放大倍数: | 12 - 1,000,000x |
ZEISS的场发射扫描电镜全部采用新一代zhuan利镜筒(GEMINI)设计,具有优良的高、低加速电压性能。创新的InLens设计是目前世界上wei一真正的内置镜筒电子束光路上二次电子探测器,具有zei佳的灵敏度和zei高的接收效率,而且只接收来自样品表面的二次电子,因此具有业界zei高等级的分辨率和图像质量。二次电子探测器和背散射电子探测器均内置于镜筒电子束光路上,试样的工作距离不受背散射探测器的影响,可以非常接近极靴,这样可以同时获得zei高的二次电子像分辨率和背散射电子像分辨率,且接收的背散射电子的能量可以控制。ZEISS的场发射扫描电镜创造性的采用电磁、静电复合式物镜,杂散磁场小,可对铁磁体样品进行高分辨率成像。
【技术参数】
分辨率:1.0nm@ 15KV
1.9nm@ 1KV
2.0nm@ 30KV(VP mode)
放大倍数:12 - 1,000,000x
加速电压:0.02 - 30 KV
探针电流:4 pA - 20 nA (12pA - 100 nA可选)
样品室: 330 mm (φ) x 270 mm (h)
样品台: 5轴优中心全自动
X = 130mm
Y = 130 mm
Z = 50mm
T = -3 to 70°
R = 360°连续旋转
系统控制:基于Windows XP的SmartSEM操作系统,可选鼠标、键盘、控制面板控制
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