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郑州科探仪器设备有限公司
主营产品:高低温冷热台,磁控溅射仪/磁控溅射镀膜仪,激光刻蚀机,等离子体表面处理仪,离子溅射仪,等离子清洗机
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外置质量流量计气体配比器
  • 品牌:郑州科探仪器
  • 型号: KT-C2ZS
  • 产地:郑州
  • 样册:暂无
  • 供应商报价: 面议
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外置质量流量计气体配比器 核心参数
测量范围: 20sccm-30slm 准确度: ±1%F.S
详细介绍

七星流量计气体配比器

采用触摸屏控制,五段时间调节不同流量,使配气更及时,更简单,


D07-19质量流量控制器&流量计


D07-19是热式质量流量计,质量流量控制器可以应用到对各种气体进行测量和控制,除测量外还可以精密控制气体的质量流量,质量流量计(MFM)可以精密测量气体的质量流量。D07-19产品是七星流量计研发精度高、响应时间快的模拟产品。

七星流量计气体配比器KT-C3ZS资料                                                                                    ;

产品型号

KT-PCS4Z

KT-C4ZS

 气体通道

4进1出

4进1出

可根据需求定制

产品类型

高精度型/快速响应型/智能控制/触摸屏控制

可选量程

20sccm-30slm(气体量程根据客户需要可选)

产品精度

高精度型±1%F.S

普通型±1%F.S

重复精度

高精度型±0.2% F.S

普通型±0.2% F.S

线性

高精度型±0.5% F.S.

普通型±1% F.S.

响应时间

高精度型≤2sec

普通型≤4sec

工作温度范围

(5~45)°C

供电电源

~85-265VAC 50/60Hz

功耗

40W

进气口压

≤0.6MPa

连接管道

316不锈钢管道

截止阀类型

电磁阀

单向阀开启压力

0.02Mpa

压力显示量程

0-0.6Mpa

控制方式

7寸触摸屏智能调节

时间设定

0-32000分钟

清洗功能

一键清洗

程序控制

5段可编程序(时间-流量随意设定值)

压力显示

有(出气压力检测且有压力上限设置过压切断总输出气路)

气体混合罐

有(内置不锈钢扰流板气体混合均匀)

气体加热

无(可选配气体混合罐加热,加热温度室温至350℃可调)

流量累计

有(累计当前运行总流量)

可选进出气口接头形式

3mm,6mm,1/8mm,1/4mm双卡套接头

抗电磁干扰

外形尺寸

550x380x400mm

重量

18KG~20KG


产品优势
七星流量计气体配比器,采用触摸屏控制,五段时间调节不同流量,使配气更及时,更简单。
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郑州科探仪器设备有限公司
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