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郑州科探仪器设备有限公司
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科探1英寸半导体晶圆探针台
  • 品牌:郑州科探仪器
  • 型号:KT-0904T-RL
  • 产地:河南 郑州
  • 供应商报价:面议
桌面式小型探针台,配套了高精度PID温度控制器,用户可以清楚直观地了解了整体系统相关位置的温度情况,确保温度测试的可靠性
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技术参数
品牌: 郑州科探仪器 型号: KT-0904T-RL
详细介绍

桌面式小型探针台 , 

高低温探针台系统达到≤10Pa即可进行低温测试而无凝露或结霜。对于选用了入门级配置的用户,可选用双极旋片式机械泵即可达到目标真空度,从而减少设备的配置预算。对于真空度有更高要求的用户,可选用分子泵组对系统进行抽真空。低温探针台系统可达10-3Pa。也可选配更高真空度的泵组,以满足测试要求。



桌面式小型探针台 参数


真空腔体

类型

加热型350℃   或者加热制冷型 室温到350℃ 室温到-190℃

腔体材质

304不锈钢

腔体内尺寸

φ90x40mm

腔体上视窗尺寸

Φ42mm(选配凹视窗Φ22mm)

腔体抽气口

KF16

腔体进气口

公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选

腔体出气口

公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选

腔体正压

≤0.05MPa

腔体真空度

机械泵≤5Pa (5分钟)  分子泵≤5E-3Pa(30分钟)

样品台

样品台材质

304不锈钢

样品台尺寸

26X26mm

样品台-视窗 距离

30mm(可选凹视窗间距15mm)

样品台测温传感器

A    级PT100铂电阻

样品台温度

室温到350℃(可选高低温样品台 高温350℃低温-190℃)

样品台测温误差

±0.2℃

样品台变温速率

高温10℃/min   低温5℃/min  最1大值

温控仪

温度显示

7寸人机界面

温控类型

标准PID温控 +自整定(可选30段编程控温)

温度分辨率

0.1℃

温控精度

±0.5℃

温度信号输入类型

PT100热电阻 (可选 K    S  B型热电偶)

温控输出

直流线性电源加热(液氮流量线性控制液氮制冷)

辅助功能

温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线

探针

电信号接头

配线转接 BNC接头 BNC三同轴接头 SMA 接头 香蕉插头 线长1.2米

电学性能

绝缘电阻 ≥4000MΩ     介质耐压 ≤200V    电流噪声 ≤10pA

探针数量

4探针(可定做6探针)

探针材质

镀金钨针

探针尖

10μm

探针移动平台

X轴移动行程

12mm    ±6mm

X轴控制精度

≤5μm

Y轴移动行程

12mm    ±6mm

Y轴控制精度

≤5μm

Z轴移动行程

12mm    ±6mm

Z轴控制精度

≤5μm

数码显微镜

显微镜类别

物镜放大+电子放大

显微镜放大倍数

100倍

显微镜工作间距

50-150mm

相机分辨率

1080P  60帧  

相机信号输出

HDMI输出+USB输出

LED可调光源

LED光源

显示屏

5寸 屏幕一体机


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