扩散器专用过滤器

半导体(液晶)的部分生产过程(CVD、PVD、ETCH、离子注入)需要在真空状态下进行,在进入后道工序前,要从真空状态恢复到大气压下,进行这一步骤的地方叫做LOADLOCK真空进样室)

高速扩散器专用过滤器可以在由真空恢复到大气压的这一过程中,减少半导体表面的异物附着。

聚集型气体面板专用过滤器

安装在IGS(聚集型气体供应系统)内部，主要用于去除IGS(聚集型气体供应系统)中搭载的元器件上的异物或气体中的异物(0.0025um)。目前主流的型号是1.125英寸。

小流量、大流量气体过滤器

主要用于去除气体及装置配管等空气中的异物(0.0025um)。

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