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苏州华维纳纳米科技有限公司
主营产品:无掩模纳米光刻系统,激光直写设备

苏州华维纳/huaweuna

 
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苏州华维纳

苏州华维纳纳米科技有限公司是在"苏州工业园区创业人才项目"的支持下,于2011年注册成立的高科技创新型公司,公司由归国和国内的高层次人才组成,公司设有博士后流动站。公司曾先后获得国家科技部(国家重大大科学仪器设备开发专项)和姑苏、江苏省双创人才、以及苏州x-nano大科学装置等项目支持,并于2012年6月 完成首轮风险融资,并成功研发出拥有自主知识产权的三大系列新型纳米激光光刻系统,2015年被认定为高新技术企业。 公司近年来,不断加大研发力度,已经定型了LDW-P 和LDW-L两大系列新型激光直写设备,实现了激光直写设备的更新换代。该新型激光直写采用全新的技术路径提高加工分辨率,一举突破突衍射极限的限制,成功实现纳米尺度加工;突破了目前激光直写仅能用于有机光刻胶的现状,可以广泛应用于各种受体材料,极大地扩展了激光直写设备的应用范围。

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