真空箱式氦检漏设备：电子及半导体行业检测中的应用

一、引言

随着电子及半导体行业的飞速发展，对产品密封性能的要求日益提高。尤其是在高精密、高性能的电子元器件及封装过程中，任何微小的泄漏都可能对产品性能和可靠性产生严重影响。因此，如何高效、准确地检测产品密封性能成为行业发展的关键。

二、真空箱式氦检漏设备检漏及回收系统基本原理

真空箱式氦检漏设备是一种基于氦质谱技术的密封性检测设备。它利用氦气在常温下不与空气发生反应的特性，通过将被测物体放入真空箱内，抽取真空后充入氦气，形成密闭空间。当被测物体内部存在气体泄漏时，会导致密闭空间内的氦气浓度发生变化，从而实现对气体泄漏的检测和测试。

为满足工业现场快节奏检测节拍、充分利用资源、节约设备制造成本。系统采用双工位设计，系统原理简图如图一所示，两个工位共用一套粗抽机组、精抽机组、检漏仪、耐压测试单元、工件抽空单元、氦气充注及回收单元。

两个工位可交替执行不同工艺流程，比如一个工位在检漏时，另一个工位可执行抽空、检漏等步序。根据此原理，我们设计双工位氦检漏系统如图二。

此外，真空箱式氦检漏设备还具有以下性能特点：

灵敏度高：真空箱式氦检漏设备能够检测到极微小的气体泄漏，具有很高的灵敏度。

适用范围广：该设备适用于各种形状、大小及材质的电子元器件和封装结构的密封性检测。

自动化程度高：设备配备人机交互界面，实现全自动压力监测、自动判断、声光提示等功能，减少人为干预，提高检测效率。

可靠性高：系统采用高端配置，稳定可靠，自动检测故障，确保检测结果的准确性。

环保节能：设备配备氦气回收系统，回收率高达98%以上，减少资源浪费，降低环境污染。

三、真空箱式氦检漏设备在电子及半导体行业的应用

半导体封装检测：在半导体封装过程中，需要对封装结构进行密封性检测。真空箱式氦检漏设备可以高效、准确地检测出封装结构中的微小泄漏，确保封装质量。

电子元器件检测：电子元器件的密封性能对其性能和可靠性具有重要影响。真空箱式氦检漏设备可用于检测各种电子元器件的密封性能，如电路板、传感器等。

精密连接器检测：在电子及半导体行业中，精密连接器广泛应用于各种设备和系统中。真空箱式氦检漏设备可用于检测连接器的密封性能，确保其连接可靠、无泄漏。

四、结论

真空箱式氦检漏设备在电子及半导体行业检测中具有重要应用价值。其高灵敏度、高可靠性、自动化程度高等特点使其成为行业发展的有力保障。随着电子及半导体行业的不断发展，真空箱式氦检漏设备将在更多领域得到广泛应用。

安徽歌博科技有限公司是一家专业生产真空氦质谱检漏仪的高新技术企业，目前在新能源，阀门，真空，电力，制冷，精密仪器等行业有广泛的应用前景，我们将矢志不渝的坚定我们的目标，为不断创新、发展氦质谱检漏技术应用领域而努力。