DDCOM X射线单晶定向仪

产品介绍：

技术特点

确定单晶的完全晶格取向

使用Omega扫描方法的超高速晶体定位测量

立方晶体任意未知取向的测定

特别设计用于点阵方向的方位设置和标记

气冷式x射线管，无需水冷

适合于研究和生产质量控制

X射线单晶定向仪

所有想要的晶体方向参数在5秒内一次旋转中被捕获

可测量材料的例子

Ø 立方/任意未知方向：Si， Ge， GaAs， GaP， InP

Ø 立方/特殊取向：Ag， Au， Ni， Pt， GaSb， InAs， InSb， AlSb， ZnTe， CdTe， SiC3C， PbS， PbTe， SnTe， MgO， LiF， MgAl2O4， SrTiO3， LaTiO3

Ø 正方：MgF2， TiO2， SrLaAlO4

Ø 六方/三角：SiC 2H， 4H， 6H， 15R， GaN， ZnO， LiNbO3， SiO2（石英），Al2O3（蓝宝石），GaPO4， La3Ga5SiO14

Ø 斜方晶系：Mg2SiO4 NdGaO3

Ø 可根据客户的要求进一步选料

X射线单晶定向仪

DDCOM的应用

平面方向的标记和测量

在晶圆片的注入和光刻过程中，需要平面或凹槽作为定位标记。切割过程中，晶片必须正确地对准晶圆片上易于切割的晶格面。因此，检查平面或缺口的位置至关重要。

为了确定平面或缺口的位置，就需要测量平面内的部件。由于Omega扫描法可以在一次测量中确定完整的晶体方位，基于此，便可以直接识别在平面方向或检查方向的单位或缺口。

DDCOM通过旋转转盘，可以将任何平面方向转换成用户指定的特定位置。在必须定义平面方向的情况下，这可以极大简化将标记应用到特定平面方向的过程。