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射频线圈有铜、镀银、镀金射频线圈,大小尺寸严格配套,射频线圈是射频能量的发射器,腐蚀的射频线圈降低了射频能量的传送效率,由此会加大射频发生器的负荷,因为等离子体需维持一定水平的射频能量。清洗和更换新射频线圈,可改善能量传输效率,产生更强更均匀的等离子体,和更高强度的分析谱线,有利于取得良好的分析结果;同时,减少射频发生器大负荷状态下的使用时间。
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