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       离子注入机是集成电路制造前工序中的关键设备，离子注入是对半导体表面附近区域进行掺杂的技术，其目的是改变半导体的载流子浓度和导电类型。离子注入与常规热掺杂工艺相比可对注入剂量、注入角度、注入深度、横向扩散等方面进行精确的控制，克服了常规工艺的限制，提高了电路的集成度、开启速度、成品率和寿命，降低了成本和功耗。离子注入机广泛用于掺杂工艺，可以满足浅结、低温和精确控制等要求，已成为集成电路制造工艺中必不可少的关键装备。   

       离子注入机通常由离子源、离子引入和质量分析器、加速管、扫描系统和工艺腔等组成。离子源是把需要注入的元素气态粒子电离成离子，决定要注入离子的种类和束流强度。离子源直流放电或高频放电产生的电子作为轰击粒子，当外来电子的能量高于原子的电离电位时，通过碰撞使元素发生电离。碰撞后除了原始电子外，还出现正电子和二次电子。正离子进入质量分析器选出需要的离子，再经过加速器获得较高能量，由四级透镜聚焦后进入靶室，进行离子注入。

       作为高真空设备，其出厂、安装、维护都离不开氦质谱检漏仪。由于半导体行业生产需要高洁净度，通常离子注入机设备都是选用干泵型的氦质谱检漏仪来满足设备的出厂安装以及维护需要，主要采用负压喷氦法来查找设备可疑泄漏点。

       安徽歌博科技生产的干泵型氦质谱检漏仪广泛应用在半导体设备检漏行业，如图所示即为安徽歌博A500型氦质谱检漏仪在为某实验室的离子注入机设备检漏。安徽歌博科技氦质谱检漏仪凭借便捷的操控，zhuo越的性能, 以及高灵敏超稳定等优点被业内工程人员广泛认可，已建立长期合作关系。

　氢气发生器是采用SPE技术电解纯水（杜绝加碱）产生高纯氢气的一类轻型、、节能、环保类高科技产品。氢气发生器核心技术：该仪器的核心SPE电极是由复合催化剂与离子膜合为一体形成的高活性零极距催化电极，电解效率高；其他主要部件均由工程塑料模具成型；有完善的电气控制系统。整机设计，质量可靠，自动化程度高，产氢纯度高，输出流量大，型号、规格齐全，应用范围广。
　　氢气发生器的详细介绍：
　　1、操作简单，只需启动电源开关，即可产气，输出压力稳定，低压产气，超压保护，无危险，保证安全。
　　2、氢气发生器日常使用只需补充蒸馏水，可连续使用，也可间断使用。流量由 LED 数码显示，更直观醒目。
　　3、储液、电解制氢、排氧一体化，池温低，寿命长久。需气流量，自动跟踪，无需调整，准确可靠。
　　4、氢气发生器设有不返液装置，可有效的确保仪器无返液现象。
　　5、耗电少，耗材省，成本低，经济实惠。
　　氢气发生器用于电解的电池采用钛基材料和纤维增强膜。这种结构使电解槽即使在连续运行的过程中也能保证很好的可靠性。纤维增强膜能够促进氢的电解，而不需要任何添加剂。膜的运行时间约为17.000个小时。水通过泵的作用从内部蓄水容器进入到电解电极。HE系列产品能够产生满足用户需求的氢。产品可以自动调整电解电流和制氢。所产生的氧气直接排入到空气中。

氮气发生器原理：
膜分离技术依靠不同气体在膜中溶解和扩散系数的差异而具有不同的渗透速度来实现气体的分离。当混合气体在驱动力一膜两侧压力差作用下，渗透速度相当快的气体如氧气、氢气、氦气、硫化氢、二氧化碳等透过膜后，在膜的渗透侧被富集，而渗透速度相当慢的气体如氮气、氩气、甲烷和一氧化碳等呗滞留在膜的滞留侧被富集从而达到混合气体分离的目的。膜分离制氮机就是根据以上原理。以压缩空气为原料气来提取较高纯度的氮气。
空气分离是购买氮气发生器的替代方案。在空气分离设备中，可以将空气分离为其基本成分。压缩和过滤天然空气，以去除任何杂质。压缩空气被加热和冷却，直到不同的元素达到沸点，然后分离出来。然后这些元素返回到气态，此时它们就可以使用了。与氮气发生器一样，空气分离设备也得益于使用氧气分析仪来观察氧气含量。
氮气发生器的工作原理是分离空气，电解膜的负极侧发生氧化反应，吃掉空气中的氧化性气体，在正极侧还原，空气流过电解池后就只剩下氮气和惰性气体，故国内发生器的纯度大多标有“相对含氧量”，氮气的纯度和空气流速，有效分解面的长度，电解电势的强弱都有关系，这种分离方法也决定了氮气的纯度不可能做的很高。加入电解质的作用就是提高水的导电率，使电化学反应能顺利进行。
发生器对色谱的影响有一点常常被忽略，就是发生器内的开关电源工作事会对电网电压造成的干扰(压缩机的启动和停止也会)，所以色谱仪经过稳压电源供电，当然不用稳压电源的用户极少。
对色谱来说，氮气发生器产生了氮气后，还需要脱水、脱氧(加脱水脱氧管)，否则会损害ECD检测器。
对质谱来说，国内的氮气发生器都无法达到很高的流量，所以，现在很多人都还使用液氮罐，来支持液质联用需要的氮气流量。
值得提醒的一点是：氮气发生器只能在实验室内或实验室外很近的位置采集空气作为气源，而实验室内空气经常是受到污染的，其中的有机溶剂含量因为实验前处理过程等原因(此外GC的洗针溶剂挥发，液相的流动相挥发)不可避免的超标。

随着人类生活的进步，经济的发达以及科技的快速发展，我们在仪器方面也是有了很大的突破，现在小编就给大家说说大家都知道的离子色谱仪的原理吧！
大家都知道离子色谱仪是GX色谱仪的一种，离子色谱仪在通常情况下可以分为三种类型，分别是：离子交换色谱、离子排斥色谱以及离子对色谱。
离子色谱仪一般是先做成单个的单元组件，然后根据分析要求再把各个需要组合的单元组件组合起来，主要包括输液系统、进样系统、分离系统、检测系统等4个部分。除此之外，可根据需要配置流动相在线脱气装置、自动进样系统、流动相YZ系统、柱后反应系统和全自动控制系统等。
分离的原理是在于离子交换树脂上可离解的离子与流动相中具有相同电荷的溶质离子之间进行的可逆交换和分析物溶质对交换剂亲和力的差别而被分离。适用于亲水性阴、阳离子的分离。
离子色谱仪的工作过程是，输液泵将流动相以稳定的流速(或压力) 输送至分析体系，在色谱柱之前通过进样器将样品导入，流动相将样品带入色谱柱，在色谱柱中各组分被分离，并依次随流动相流至检测器，YZ型离子色谱则在电导检测器之前增加一个YZ系统，即用另一个高压输液泵将再生液输送到YZ器，在YZ器中，流动相的背景电导被降低，然后将流出物导入电导检测池，检测到的信号送至数据系统记录、处理或保存。非YZ型离子色谱仪不用YZ器和输送再生液的高压泵，因此仪器的结构相对要简单得多，价格也要便宜很多。

　氮气发生器按原理分为三种，下面为大家仔细讲解下：
　　1.电化学法制氮。在氢气电解池的阴极（产氢气一侧）通入高压空气，在催化剂作用下，氢气和氧气形成微观燃料电池，完成氧化还原反应生产水，宏观上表现即为空气中的氧气被除去，剩余氮气。这种方法可以产出高99.995%的氮气，但有几个明显的缺陷：一需用到高浓度氢氧化钾溶液做电解液，这种强碱溶液与气体直接接触，对气体质量有潜在影响，并有随气路输出的可能性；二单位成本高；三反应过程只去除了空气中的氧气，其它杂质气体并没有涉及，并且反应过程对电解池制作技术要求很高，不合适的电解池制作技术会造成氮气纯度数量级的降低。这类氮气发生器作为一种小流量氮气来源，总费用不过几千元，常被用于色谱载气和小容量保护，是一种低成本的解决方案；
　　2.膜分离制氮。高压空气通过中空纤维膜组件，氮气分子和氧气分子的扩散速度差别积累，在膜组件输出端形成高纯度的氮气，形成的产品气纯度高可达99%，气体流量>5000ml/min，并且可以累加使用，不影响产品质量，在不考虑其它限制条件的情况下，气体装置可以无限扩充。这种制氮方法膜分离制氮在工业上有不少的应用，在实验室主要用于对气体纯度要求不特别高的吹扫、保护、对氧气的置换等。这类发生器的主要优点是流量大，实验室级别产品一般在50L/min上下，并可随意扩充，同时寿命长，膜组件作为核心部件，在空气源稳定的情况下，寿命可达10年，且维护成本极低；缺点是氮气纯度不能达到高纯级，膜组件目前均为进口，国内不能提供，成本较高，仪器价格也相对高。
　　3.PSA变压吸附制氮。利用氮气与其它气体分子在分子筛中的吸附能力差异，形成浓度差异的积累，在分子筛柱末端产出高纯度氮气。同时利用两根分子筛柱，一根吸附的同时引出一部分产品气为另一根解析，实现分子筛在线再生，整体表现即为仪器持续输出高纯氮气。这类发生器可根据需要，调节氮气的纯度和流量，高可生产99.999%的氮气产品，流量可从几百毫升到几十升到几立方每分钟，纯度大小配置灵活，可根据每个需求具体定制，技术难点主要是分子筛柱填装技术，分子筛填装不好，会造成分子筛在气体高低压频繁变化中互相摩擦碰撞粉化，微孔数量减少，分子筛性能急剧降低。