FTIR分析仪是什么

626814905 2017-09-14 12:34:47 395 浏览

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丰山桂 2017-09-15 11:34:14

FTIR 傅氏转换红外线光谱分析仪　　(Fourier Transform infrared spectroscopy) 用于半导体制造业。FTIR乃利用红外线光谱经傅利叶转换进而分析杂质浓度的光谱分析仪器。目的：·已发展成熟，可Routine应用者，计有： A.BPSG/PSG之含磷、含硼量预测。 B.芯片之含氧、含碳量预测。 C.磊晶之厚度量测。· 发展中需进一步Setup者有： A.氮化硅中氢含量预测。 B.复晶硅中含氧量预测。 C.光阻特性分析。FTIR为一极便利之分析仪器，STD的建立为整个量测之ZD，由于其中多利用光学原理、芯片状况（i.e.晶背处理状况）对量测结果影响至钜。目前所有的红外光谱仪都是都是傅里叶变换型的，光谱仪主要由光源（硅碳棒、高压汞灯）、迈克尔逊干涉仪、检测器和干涉仪组成。而傅里叶变换红外光谱仪的核心部分是迈克尔逊干涉仪，把样品放在检测器前，由于样品对某些频率的红外光产生吸收，使检测器接受到的干涉光强度发生变化，从而得到各种不同样品的干涉图。这种干涉图是光随动镜移动距离的变化曲线，借助傅里叶变换函数可得到光强随频率变化的频域图。这一过程可有计算机完成。用傅里叶变换红外光谱仪测量样品的红外光谱包括以下几个步骤： 1)、分别收集背景（无样品时）的干涉图及样品的干涉图; 2)、分别通过傅里叶变换将上述干涉图转化为单光束红外光； 3)、将样品的单光束光谱处以背景的单光束光谱，得到样品的透射光谱或吸收光谱。参考百科

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熔融指数分析仪工作原理是什么

　　熔融指数分析仪由微处理器按标准试验流程进行程序化设定，升温速度快、恒温精度高；在填料之后，能迅速恢复恒温状态。中文显示，自动计时，自动切料，自动计算，自动打印等多种功能。

　　主要参数

　　控温范围：室温---400 ℃

　　控温精度： ±0.2 ℃

　　显示分辨率： 0.1 ℃

　　ZD功耗： ≤500 W

　　温度恢复时间： 4 min

　　活塞位置检测：(MVR)

　　上下环距离： 30 mm

　　位移控制精度：±0.1 mm

　　测试范围：0.03-450g/10min

　　标准件参数：

　　料筒参数：内孔 Φ9.55±0.025mm

　　活塞参数：活塞头Φ=9.475±0.015mm；

　　活塞头长度 H=6.35±0.1mm

　　口膜参数：口模：材质为碳化钨、长：8.000mm±0.025mm挤出孔Φ=2.095±0.005mm

　　口模配置：Φ2.095±0.005/Φ1.18±0.01mm

　　砝码参数：

　　砝码精度：±0.5%

　　基本配置： A 0.325 KG(含压料杆)

　　B 0.875 KG

　　C 0.960 KG

　　D 1.200 KG

　　E 1.640 KG

　　注：可根据用户要求加配备砝码

　　工作原理

　　熔融指数分析仪是在规定温度条件下，用高温加热炉使被测物达到熔融状态。这种熔融状态的被测物，在规定的砝码负荷重力下通过一定直径的小孔进行挤出试验。在工业企业的塑料生产及科研单位的研究中，经常用“熔体（质量）流动速率”来表示高分子材料在熔融状态下的流动性、粘度等物理性能。熔体流动速率就是指挤出物各段试样的平均质量折算为10分钟的挤出量。熔体（质量）流动速率用MFR表示，单位为：克/10分钟（即g/min）

　　公式表示：MFR（θ、mnom）=tref×m/t=600×m/t（g/10min）

　　式中：θ——试验温度

　　mnom——标称负荷Kg

　　m——切断的平均质量g

　　tref——参比时间（10min）：600

　　t——切断的时间间隔单位：秒。

　　例：一组塑料试样，每30秒钟切取一段，各段质量的结果是：0.081克、0.086克、0.081克、0.089克、0.082克。

　　切断的平均质量m=（0.081+0.086+0.081+0.089+0.082）÷5=0.0838≈0.084(克)

　　代入公式：MFR=600×0.084/30=1.680（克/10分钟）

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