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薄膜测厚仪的测量原理是什么?精度可以达到多少?

_顏後 2017-05-19 20:54:55 518  浏览
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全部评论(1条)

  • jdqjzl 2017-05-20 00:00:00
    在被测量的薄膜上垂直照射可视光,光的一部分在膜的表面反射,另一部分透进薄膜,然后在膜与底层之间的界面反射,薄膜表面反射的光和薄膜底部反射的光产生干涉现象。利用白光干涉测量法的原理,它用一个宽波段的光源来测得不同波长的反射数据,由于反射率n和k随薄膜的不同而变化,根据这一特性进行曲线拟合从而求得膜厚。不同类型材料的相应参数通过不同的模型来描述,从而保证了不同类型材料膜厚测量的准确性。 大成精密设备薄膜测厚仪采用非放射性先进测量技术,是测量隔膜厚度的理想解决方案。

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