全部评论(1条)
-
- 落落101202 2011-06-05 00:00:00
- 超精密加工的发展状况 ________________________________________ 精密和超精密制造工程是适应前沿高技术发展需求而发展起来的。它是一个国家重要经济和技术实力的体现,是其它高新技术实施的基础。精密和超精密加工范畴划分的界限见表1。 表1 按加工精度划分加工精密度级别 普通加工 精密加工 高精度加工 超精密加工 极超精密加工 加工精度(μm) 100-10 10-3 3-0.1 0.1-0.005 ≤0.005 超精密制造技术是当前各个工业国家发展的核心技术之一,各技术先进国家在高技术领域(如国防工业、集成电路、信息技术产业等)之所以一直lingxian,与这些国家高度重视和发展超精密制造技术有极其重要的关系。 超精密制造技术是随着测量技术的发展而发展的。Renishaw、Heidenhain及SONY等公司发展了分辨率均可以达到1nm的测量元件;美国HP公司、英国Taylor、美国zygo等公司的测量仪器均可以满足纳米测量的需求。 超精密制造技术在国际上已经得到广泛应用。与国防工业有关的如人造卫星用的姿态轴承和遥测部件、被送入太空的哈勃望远镜(HST)、飞机发动机转子叶片等;与集成电路(IC)有关的硅片加工(要求硅片的加工表面粗糙度Ra一般小于2nm,Z高要求达0.1nm);此外光刻设备和硅片加工设备的精度要求到亚微米和纳米级。惯性仪表的精度、激光陀螺仪的平面反射镜的精度、红外制导的反射镜等,其表面粗糙度均要求达到纳米级。另外,光学非球曲面零件面形制造精度要求已达 λ/(30—50),表面粗糙度要 求≤0.5nm。 超精密制造技术的发展状况 1962年美国Union Carbide公司研制出首台超精密车床。在美国能源部支持下,LLI实验室和Y—12工厂合作,与1983年成功地研制出大型超精密金刚石车床(DTM—3型)。该机床可加工Z大直径¢2100mm,多路激光干涉测量系统分辨率为2.5nm。1984年,LLL实验室成功地研制出LODTM大型金刚石车床。该机床可加工的Z大直径为¢1625mm x 500mm,重量1360kg。采用的双频激光测量系统分辨率为0.7nm,其主轴静态精度为:径向跳动≤25nm,轴向窜动≤51nm。LLL实验室这两台机床是目前公认的国际上水平Z高的超精密机床。 CUPE(Cranfield Unit for Precision Engineering)研制的Nanocenter超精密车床已批量生产,其主轴精度≤50nm,加工工件的面形精度≤0.1μm。 Taylor公司兼并了Pneumo公司以后,批量生产Nanoform 250超精密车床,产品占据了国际超精密加工很大部分应用市场,是技术lingxian的产品。 进入90年代以后,超精密铣磨和抛光技术在几个发达国家竞相发展,个别实验室可以达到很高的水平,特别是其中包含的纳米制造技术,受到很大的关注。开发超精密铣磨和纳米抛光制造技术较好的公司及机构有:美国M00RE公司、英国的TAYL0R、德国的ZEISS、LOH、SCHNEIDER、日本的NACHI、TOSHIBA、荷兰的PHILIP等。 国内有许多单位在从事研究和生产超精密加工设备和仪器,如:北京机床研究所、清华大学、长沙国防科技大学、哈尔滨工业大学、西安交通大学、303所等单位。 北京机床研究所生产的超精密机床特点是:主轴性能好,精度可以达到20-50nm,刚度可以达到350N/μm;溜板直线性≤0.1μm/200mm;加工件表面粗糙度值小,车铣表面Z好可以小于1nm;运动系统分辨率高,可以达到纳米级;商品化程度高。机床类型包括:JCS—027超精密车床、NAM—800超精密车床、SQUARE300超精密铣床和SPHERE 200超精密球面加工机床等。 哈尔滨工业大学研制的超精密机床型号为HCM,主轴精度≤50nm,径向刚度220N/μm,轴向刚度160N/μm,导轨Z向(主轴)直线度≤0.2μm/100 mm,X向(刀架)直线度≤0.2μm/100mm,X、Z向垂直度≤1",加工工件精度形面精度(圆度)≤0.1μm。 超精密制造技术将沿着三个方向发展:(1)在技术和产品的需求下,开拓新的加工机理,进入到纳米级和亚纳米级加工精度。(2)在国民经济发展和人民生活水平提高的需求下,进入国民经济主战场,提高国家的经济实力。如汽车制造、计算机、通信网络、光盘、家用电器等均紧密依赖于超精密制造技术的支持。(3)现代制造技术的发展,学科交叉、复合加工技术的特点日益突出,精密加工和超精密加工不仅作为一门独立的学科发展,而且会以更多的交叉学科形式出现,甚至形成新的学科。例如:精密特种加工技术、纳米制造技术等就包含了多种学科。超精密制造技术的发展将促进国民经济主要领域和高技术各相关领域的发展。
-
赞(4)
回复(0)
热门问答
- 求超精密加工技术论文。。。
- 邮箱sunfan893@vip.qq.com 谢谢各位大大们
2011-06-04 20:20:21
378
1
- 超精密加工技术能获得什么?
2016-08-28 11:33:28
468
1
- 什么是超精密加工技术和超高速加工技术?
- 关于先进制造技术的.
2008-04-26 12:27:13
247
1
- 求个《汽车尾气检测和治理技术》的论文```
- 3000字以上,Z好有足够多的参考文献~~~谢谢!... 3000字以上,Z好有足够多的参考文献~~~谢谢! 展开
2009-03-16 02:59:49
385
1
- 求医学影像技术 论文题目 关于MRI方面的
2011-01-11 07:21:01
322
1
- 超精密加工技术对发展技术和国防技术有什么重要意义?
- 如题 超精密加工技术对发展技术和国防技术有什么重要意义?
2009-12-07 23:46:13
522
1
- 精密加工技术与超精密加工技术二者面临的问题?
2018-11-11 06:53:20
343
0
- 求帮下一个论文
- 《功能4A分子筛的微波快速合成与性质表征及其机理研究》中山大学博士论文万方数据库... 《功能4A分子筛的微波快速合成与性质表征及其机理研究》中山大学 博士论文 万方数据库 展开
2015-06-05 07:09:29
353
2
- 求论文开题报告
- 论文题是西藏波林滑坡的稳定性分析研究 要这两方面的内容 1、研究工作条件: 2、预期目标及研究进度计划 回答好的加分~~~
2010-04-01 17:07:55
253
4
- 求英文论文一篇
- 要5000词左右,注明出处(杂志名,多少期,Z好可查),不要从书中摘录的。关于网络方面的。(软件。。不要硬件的)。。有翻译更好,没有也行。谢谢大家帮帮忙。
2009-04-12 18:26:09
231
1
- 求一篇课程设计论文?
- 关于迈克尔逊干涉仪的~~
2018-11-11 07:17:35
174
0
- 求【厚度传感器】论文资料
- 如果是百度百科上的资料就不要了, 如果只是传感器的资料,那也不要了,只要厚度传感器的 数量不限,越多越好,可以网址,可以文字。 能帮忙的高分追加 网上关于此方面的资料非常之少。。。
2010-07-26 09:16:06
323
2
- 求篇论文提纲
- 氮氧化物的研究 解决污染 与预防方面的
2009-06-09 03:36:51
277
1
- 精密和超精密加工技术对发展国防和技术的重要意义
2017-12-19 09:02:16
330
1
- 超精密加工技术在国际上处于lingxian地位有哪些国家
2018-12-01 21:31:04
353
0
- 求"串口通信技术的研究与实现"论文目录
- 论文要求(本科毕业论文):(1)串口通信是计算机常用的通信形式。本设计要求学生设计串口发生器,并在此基础上采集串口发生器所发出的数据,进行在线显示(2)完成硬件设计,也即串口发生器... 论文要求(本科毕业论文): (1)串口通信是计算机常用的通信形式。本设计要求学生设计串口发生器,并在此基础上采集串口发生器所发出的数据,进行在线显示 (2)完成硬件设计,也即串口发生器,能够定时、连续的向串口发送数据 (3)完成串口通信编程(VC编程),实现数据的接收和显示。 展开
2008-05-24 19:32:46
334
1
- 求扫描探针显微技术的原理及其应用的物理学论文,
2018-11-10 06:44:14
263
0
- 求陶瓷原料方面的论文
2013-11-28 16:19:04
275
1
- 求基因免疫的论文
2013-07-16 00:58:25
458
4
- 求蛋白质分离纯化论文
- 题目:生物大分子分离纯化方法----蛋白质技术 要求:将生物大分子(蛋白质)分离纯化常见方法做简单介绍,包括各方法的优缺点等,同时着重介绍常见凝胶色谱应用等方面一些新的方法。 Z好是一篇完整的论文
2018-11-19 07:15:32
190
0
参与评论
登录后参与评论