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JEOL FE-SEM 的Z佳光阑角控制镜

捷欧路(北京)科贸有限公司 2020-01-19 14:07:44 291  浏览
  • JEOL FE-SEM采用了Z佳光阑角控制镜(ACL),这样,即使照射样品的探针电流很大,与从前相比, 也能获得很小的电子束斑。

    大探针电流时,用ACL 能获得很小的电子束斑。

    探针电流大的时候,束斑直径也变大。

    样品: 金属材料 (Cu、Ag、Sn、Pb) 

    倍率:×15,000 

    加速电压: 5 kV 

    探针电流 50 nA

    Z小化的分析体积使用较低的加速电压, 较大的探针电流Z小化的面分布速度可以减少对样品的损伤

    高空间分辨率的微区元素面分布及快速测试

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热门问答

JEOL FE-SEM 的Z佳光阑角控制镜

JEOL FE-SEM采用了Z佳光阑角控制镜(ACL),这样,即使照射样品的探针电流很大,与从前相比, 也能获得很小的电子束斑。

大探针电流时,用ACL 能获得很小的电子束斑。

探针电流大的时候,束斑直径也变大。

样品: 金属材料 (Cu、Ag、Sn、Pb) 

倍率:×15,000 

加速电压: 5 kV 

探针电流 50 nA

Z小化的分析体积使用较低的加速电压, 较大的探针电流Z小化的面分布速度可以减少对样品的损伤

高空间分辨率的微区元素面分布及快速测试

2020-01-19 14:07:44 291 0
JEOL FE-SEM 采用Z佳光阑角控制镜

       Z新型的场发射扫描电镜JEOL FE-SEM采用了Z佳光阑角控制镜,因此,即使在很大的探针电流下也能获得很小的电子束斑。此外,使用低加速电压进行元素分析,可以减小电子束在样品中的扩展区域,能进行高空间分辨率的微区分析。

探针电流增大时,通过光阑角控制镜 能获得小的探针直径。

探针电流增大时, 探针直径也变大。

低加速电压下减少电子束在样品中的扩展,同时利用大探针电流进行快速分析。

能够在微区进行高空间分辨率的分析

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