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- chenzhiwang111 2017-07-15 00:00:00
- 多弧阴极根据靶材的不同，能够稳定工作的电流是不一样的，例如：如果是Cr靶，可以在60A左右就可以稳定工作，Ti靶在70A左右可以稳定工作，Zr的稳弧电流稍高一些，大约在100A左右，阴极的工作电压在20V-30V之间. 镀膜时，比如你要做TIC黑膜，就必须选用Ti靶，TI的工作电流在70A，工作电压在25V左右，需要向真空室内充入C2H2气体，镀膜时的真空度要保持在0.5Pa左右，一般情况下，是用分子泵或者扩散泵来抽取这些气体，使得真空室保持一定的压力，此时的滑阀泵和罗茨泵充当分子泵或者扩散泵的前级泵，是一直要开着的.
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