二氧化铈上负载了钯之后为什么孔径和比表面积变大了

liuxw55555555 2017-05-28 21:57:40 397 浏览

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gaopenfzhulu 2017-05-29 00:00:00

石家庄除甲醛定点企业石家庄比好更好环保工程有限公司高级工程师张工介绍说：市场上活性炭的品牌较多，不过质量参差不齐，有很多都是以普通炭冒充活性炭。那么，活性炭怎么识别和挑选呢?下面我们一起来看看。1、看密度活性炭孔隙越多，吸附性能就越高，活性炭就越酥松，相对密度就越低，手感就会越轻，在等重量包装情况下，体积也就越大。建议购买密度小，手感轻，等重量体积大的活性炭产品。2、看大小活性炭颗粒越小，接触空气面积就越大，比表面积也越大，吸附性能就越好，但是颗粒越小，粉碎制作过程中损耗也越大，粉尘也越多，成本也就越高，所以很多厂家为降低成本，使用大颗粒活性炭，性能当然不好，一般颗粒大小在0.5毫米左右的活性炭既达到了Z佳性能，又确保不是粉末，没有污染。建议选择颗粒直径在0.42-0.85毫米之间的活性炭产品。3、看组份活性炭是靠孔径大小来吸附有害气体的，不同有害气体的分子量不同，颗粒大小也不同，活性炭空隙要在0.45-2纳米之间才能吸附甲醛等有毒气体，国际上椰壳炭是吸附异味和笨等污染的shou选活性炭，气相球形微孔活性炭是Z理想的甲醛吸附炭。建议选购由椰壳活性炭和气相球形微孔活性炭混合成的综合吸附产品。不一定椰壳的就是Z好的，要和有害气体分子的孔径相匹配。4、看粉尘生产活性炭过程中，必须把粉碎的原料进行去除粉尘处理，否则粉尘过多，清洁度就差，就会对人体和物品造成污染，市面上劣质活性炭为降低成本，没有进行后处理，粉尘很大，多使用深色包装袋，小炭包用手摸上去很脏，使用时会弄脏物品造成二次污染。建议选择小炭包是白色透气无纺布袋，摸上去没有粉尘不脏的产品。5、看气泡将一小把活性炭投入水中，由于水分子小，水会逐渐浸入活性炭的孔隙结构中，迫使孔隙中的空气排出，从而产生一连串极为细小的气泡，在水中拉出一条细小的气泡线，同时会发出丝丝的气泡声，性能越好的活性炭这种现象越剧烈。时间越久。6、看炭化料炭化料是只经过炭化过程没经过活化过程的炭，不是真正的活性炭，而活化过程是活性炭制造工艺中Z重要的制造孔隙结构的过程，缺少这个过程的炭化料几乎没有任何吸附性能。炭化料由于没有进行活化造孔的过程，所以表面要比活性炭光洁，且颜色发白，略有金属光泽，手感上要比活性炭硬，且重量也重许多。7、看品牌普通市场中所谓活性炭的品牌众多，很多以次充好，质量参差不齐。我们在购买时应该选择由国家认证的、有一定实力和品牌知名度的生产企业生产的活性炭。例如，看是否有国家权威机构颁发的荣誉资质，当然很多其他所谓荣誉证书都是可以花几万元购买到，但是一般省级或着名商标，必须具备足够强的综合实力才能拿下。其次，商标必须是注册商标达3年以上的。至于活性炭牌子的选择，建议选择专业活性炭生产企业生产的产品。温馨提示：活性炭在使用一段时间后需要拿到室外晾晒，晾晒的目的是通过太阳的暴晒释放出被潮气占据的活性炭内部空间，用以更好的吸附有害气体。建议每隔15天左右拿到太阳下暴晒3-5个小时。

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二氧化铈 CMP 浆料监测

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化学机械抛光/平坦化 (CMP) 是微电子行业广泛使用的一种工艺，通过化学力和机械力来进行平坦化处理。该工艺使用磨料和腐蚀性浆料来帮助平坦化晶圆表面。浆料的粒度分布是控制平坦化工艺成功的关键参数。氧化铈 (ceria) 的浆料广泛地应用于集成电路 (IC) 制造的各种 CMP工艺中，本应用说明记录了 AccuSizer® Mini FX 准确测量二氧化铈 CMP 浆料的平均粒径和浓度，并检查是否存在尾端大粒子的实际案例。

1、简介

CMP 工艺和 CMP 浆料广泛用于微电路制造过程中的抛光流程，CMP 浆料的性能对于提高设备产量至关重要，需要定期测量浆料的粒度分布 (PSD)。除测量平均粒径之外，还应对尾端大颗粒的存在（即远离主峰的较大颗粒的浓度）进行测量。这些尾端可能来自工艺过程中的污染物，由于化学变化、CMP 输送系统或施加的剪切力而导致的聚集。晶圆中缺陷与划痕的数目与尾端大颗粒计数 (LPC) >0.5-1 μm 有关，理想的表征系统应提供准确的 LPC 值。

2、颗粒粒径/计数技术

有许多颗粒表征技术可用于测量 CMP 浆料中颗粒的粒径分布。包括动态光散射 (DLS) 和激光衍射在内的光散射技术可以测量粒径大小和粒径分布，但不能提供任何有用的浓度信息。单颗粒光学技术 (SPOS) 在颗粒通过狭窄的测量室时一次测量一个颗粒，从而提供准确的粒径和浓度（颗粒/mL）结果。SPOS 本质上是一种高分辨率的技术，能够检测从偏离主峰的尾端大粒子分布。它常用来检测尾端大粒子浓度和数量，而 LPC 是 CMP 浆料造成晶圆缺陷和划痕的主要原因。

AccuSizer ® Mini可以在实验室中使用，也可以在线点对点使用。

3、ACCUSIZER MINI

AccuSizer 多年来一直被 CMP 浆料制造商和最终用户用来检测尾端大颗粒是否存在，根据浆料的不同，可以选择直接进行测量，也可以通过自动稀释来优化分析条件。

上图所示的 AccuSizer Mini FX 系统设计用于检测较小尾端大颗粒和高浓度样品。FX 传感器使用聚焦光束来减少检测的总体积，从而提高传感器的浓度限制，通常无需稀释即可进行测量。FX 传感器可测量 0.65–20 μm 的颗粒，其浓度比标准消光/遮光或散射传感器高 200 倍。结果最多可以显示在 512 个大小的通道中。

AccuSizer Mini系统是完全自动化的，专为满足生产线的要求而设计。内置的触摸屏电脑控制着操作。用户连接化学机械抛光液的旁路、过滤后的去离子水(如有必要，用于清洗和稀释)、50兆帕的空气管路以控制气动，以及排泄管路。

4、使用的样品

本研究使用了两个二氧化铈样品；二氧化铈 A 具有较小的尾端大颗粒，二氧化铈B具有较大的尾端大颗粒。

5、结果

对二氧化铈 A 进行了四次分析，以确定基础样品中颗粒的尺寸分布和浓度。四次分析的结果如图 1 所示（浓度为线性标度）和图 2（浓度为对数标度）。

图 1. 二氧化铈 A浓度，线性标度

图 2. 二氧化铈 A，对数标度

接下来，二氧化铈A 中掺入约 1000000 颗粒/mL 的 1.36μm 聚苯乙烯乳胶 (PSL) 标准颗粒，以证明检测大颗粒的能力。结果如图 3 和图 4 所示。

图 3. 二氧化铈A（红色）+ 1.36 μm PSL 尖峰（黑色）

图 4. 与图 3 相同，但 y 轴扩展 8 倍

然后，在二氧化铈 A 中掺入 1%（图 5）和 10%（图 6）的二氧化铈 B，后者含有较长尾端大颗粒。图 5 和图 6 中的结果显示了 AccuSizer 对尾端大颗粒的敏感性以及良好的重复性。

图 5. 二氧化铈 A 添加了 1% 二氧化铈B