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- JoHn_Hye 2017-06-08 00:00:00
- 两种方法： 利用电子细分，比如对20微米栅距的光栅尺进行200倍细分可得到0.1微米分辨率的光栅尺。但条件是光栅信号要足够的好，也就是示波器上显示的李赛圆要很圆。 另一种办法是减小栅距，比如将栅距减小到10微米，再进行200倍细分得到的便是0.05微米的分辨率。对于透射光栅，栅距减小则意味着衍射现象过重，信号质量变差。20微米栅距，正好是一个临界点。所以，一般对小于20微米的栅距，利用的是光的干涉方法而不采用透射方法。目前国内厂商，暂且还没有这项技术能够利用光的干涉方法来做光栅尺。
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