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滨松公司利用其独特的光学设计技术，采用新开发的成像模块和图像处理技术，结合光致发光（Photo Luminescence，以下称PL）的测量方法（*），成功推出可对Micro LED晶圆上LED晶粒的亮度，发光波长和外观等异常进行快速检测的“MiNYTM PL Micro LED PL检测设备C15740-01”。

在新型显示应用方面，Mirco LED正在不断提升其良率，而本产品可在短时间内判断Micro LED的合格与否，有助于提高研发效率，缩短研发周期。此外，在未来的量产线上，进行全检的巨量检测技术也有望成为可能。本产品将于3月8日（星期一）开始向日本和海外的LED厂家和显示器制造商销售。

※成像式PL测量方法：通过对光致发光信号进行成像，以非接触，无损的方式对LED，第三代半导体等材料和器件的特性进行评估的方法。

MiNYTM PL Micro LED PL检查设备 C15740-01

<开发背景>

边长在100μm（以下简称μm，μ为百万分之一）以下的LED被称为Micro LED。与LCD和OLED等传统显示器相比，Micro LED具有更高的亮度，更低的功耗以及更长的使用寿命的特点，它作为新型显示器，预计未来有着更大的市场。目前业界也正在为提高Micro LED良率不断进行研发。

传统LED是通过可见光图像对其外观进行检查，然后对晶片上的数万颗LED逐一针测，并通过其实际发光情况，来检查（EL检测）发光特性。另一方面，由于在一片Micro LED晶圆上有数百万颗LED晶粒，因此通过EL检测进行全检是不现实的。虽然使用光谱仪也可以检查发光特性，但一次所能测量的范围有限。因此，除了检查Micro LED的外观外，对能够快速检测亮度和发光波长异常的设备的需求也越来越大。

<产品概述>

本产品是利用光致发光和可见光的2种类型的图像，对晶圆上Micro LED外观，亮度和发光波长等异常进行快速检测的设备。 将6寸Micro LED晶圆产品放入本系统，通过从可见光成像中获取Micro LED的崩裂和划痕等外观信息。然后，结合PL成像中获取的亮度和发光波长信息，一起分析判断产品是否合格。

检查结果示意图

此次，滨松公司采用独特的光学设计技术所研发的光学器件，结合优化后的高性能相机，成功开发出了新的成像模块。在不使用光谱仪的情况下，通过PL成像即可同时获取整个晶圆上每一颗Micro LED的亮度和发光波长信息。由于PL图像是来自于对Micro LED整体进行强度均匀稳定的激发照射，所获得的测量结果非常可靠。通过与成像模块所获取外观，亮度，发光波长等信息进行整合，以及滨松公司独特的图像处理，实现对Micro LED的异常进行快速检测。

本产品通过对Micro LED的亮度，发光波长和外观等异常的快速检测，判断产品合格与否，有助于加快以改善良率为目标的研发工作。此外，在今后的量产线上，使进行全检的巨量检测技术成为可能。

滨松公司将继续开发更高速的Micro LED检测设备，并与韩国，ZG大陆和ZG台湾的当地子公司合作，争取以亚洲为主的设备订单。

<产品的主要特性>

1. 同时，快速检测亮度，发光波长等异常 使用PL测量方法，除了Micro LED的外观异常外，还可以同时对亮度和发光波长等异常进行快速检测。

2. 实现电致发光（EL）检测不能达到的全检工作 由于用EL对Micro LED进行全检需要非常多的时间，在实际中是不现实的。而本产品可以实现亮度，发光波长和外观等异常的快速检查，可期待Micro LED的GX全检成为现实。

3. 在量产线中进行全检，以提高良率 通过在产线中对Micro LED进行全检，并根据检查结果改进设计和生产过程，有望提高良率。