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随着NANO-MASTER专利技术的ICP源的深入应用，对于大面积的基片提供均匀高品质的薄膜生长得以实现。到目前为止，NANO-MASTER的ALD系统可以支持在任意尺寸的衬底上的扩展，这给显示和照明等领域带来好消息。

此外，NANO-MASTER同时具备粉末处理能力的扩展。这样，NANO-MASTER系统已经可以支持在任意尺寸和任意形状的固体上进行原子级生长。在应用选择方面，我们支持热ALD和PEALD系统的单独应用，同事也支持ALE/ALD双系统、IBE/ALD双系统、ALD/PECVD双系统、ALD/IBAD双系统等应用，以及ALD跟其它NANO-MASTER任意系统组成的Cluster系统，可以实现多工序工艺在不间断真空的情况下一步完成工艺。

经过多轮往复沟通才确认下来的ALD需求，NANO-MASTER严格按照Air Force（美国空军）客户的要求进行定制。提交系统之后，经过多轮测试，NANO-MASTER的ALD系统在设备加工品质、工艺性能指标、设备稳定性等多方面都已经经过严格的考核，并得到最终的验收。

随着ALD系统应用于Air Force，我们ALD系统的性能和设备稳定性都得到了很好的验证，也证明了我们的设计具有许多独特的优势。

       锂离子电池在充放电过程中，锂离子在正负极之间穿梭。在充电过程中，锂离子从正极脱出经过电解液和隔膜到达负极发生反应。在放电过程中锂离子从负极返回正极嵌入正极材料。在循环过程中，正极材料面临许多的问题如自身体积的变化，晶体结构的改变，界面结构的退化等导致的容量衰减。同样的，负极材料也面临着体积膨胀，枝晶的生长导致的负极材料的粉碎溶解、从集流体表面剥离脱离、电接触变差，短路等一系列问题，这些问题导致材料的容量和循环性能严重下降，甚至电池的起火爆炸。

       原子层沉积（ALD）薄膜沉积可以合成具有原子级精度的材料，基于自限的膜纳米级的控制，可以实现多组分膜的化学成分控制、大面积的薄膜/工艺的可重复性，具备低温处理以及原位实时监控等技术特征。该技术在锂离子电池，太阳能电池，燃料电池以及超级电容器中都具有广泛的应用。

      ALD已经被公认是一种非常有前途的工具可以用来解决锂离子电池以及其他电能储存设备所面临的问题。ALD在锂离子电池中的应用主要分为两个方面：(1)高性能电池电极，隔膜，集流体材料等的制备；(2)表面修饰。其应用主要总结在下图：

1、ALD在电极材料及电解质制备中的应用

a、ALD 用于负极材料的制备

采用ALD技术制备的负极材料主要集中在过渡金属氧化物(TMOs), 如RuO₂, SnO₂, TiO₂和ZnO. 其能量密度比传统的石墨电极高。同时，为了解决TMOs负极材料所面临的挑战，如SnO₂在循环过程中较大的体积变化，TiO₂低的电子跟离子电导率，由超高电导率的碳基材料如石墨烯，碳纳米管以及Mxenes与TOMs组成的复合负极材料可以很好的融合两者的优势。

如：ALD制备的TiO₂/CNF-CFP(carbon fiber paper)负极，具有高可逆容量（272 mAh g⁻¹ at 0.1 A g⁻¹），超高倍率性能(133 mAh g⁻¹ at 40 A g⁻¹) 以及超长循环稳定性（≈ 93%容量保持率在10000 圈 at 20 A g⁻¹）。

b、用于正极材料的制备

通过ALD技术制备的正极材料有非锂化正极如V₂O₅, FePO₄; 锂化正极如LiFePO₄, LiCoO₂以LixMn₂O₄。

如TiO₂/V₂O₅/@CNT paper正极在100 mA g^-1的电流密度下的放电比容量为400 mAh g^-1，达到了理论放电比容量。 同时，正极材料V2O5的溶解问题可以通过TiO₂层得到，同时不损失容量跟倍率性能。

c、SSEs固态电解质的制备

归功于其安全性及循环稳定性，全固态锂离子电池近来成为了研究的热点。ALD可以解决全固态锂离子电池所面临的两大关键性挑战：a.高界面阻抗，b.低离子电导率。 最近采用ALD制备的固态电解质有LiPON, Li7La₃Zr₂O₁₂, LixAlySizO, LixTayOz, LixAlyS and Li₂O-SiO₂.这些含锂SSEs提供了一个关键的技术平台来制备高能量密度，长寿命以及安全的可充放电池。如下图所示，ALD制备的LLZO为制备3D全固态锂离子微电池提供了一条技术路线。

2、ALD在电池电极，隔膜，集流体等表面修饰领域的应用

a、ALD对负极表面修饰的应用

在负极材料中，ALD表面/界面修饰技术主要为了解决从SEI膜引发的系列问题。在循环过程中，SEI膜的大量形成以及体积变化会引起电极的破坏，从而引发新的暴露面导致容量的衰减。如在石墨负极表面沉积Al2O3可以在电池循环了200圈之后有效地保持98%的首圈容量。

锂金属作为负极材料的未来之星，在锂金属的沉积跟剥离过程中，锂枝晶的生长导致电池短路的问题亟待解决。采用ALD技术在锂金属表面构建例如有机/无机复合人工SEI膜，可以有效地抑制锂枝晶的生长。

b、ALD对正极表面的修饰作用

为了解决正极材料表面所面临的电解液分解，相变，析氧以及过渡金属溶解等问题,采用ALD技术在正极材料表面沉积保护层可以作为物理阻挡层或者HF清除层，从而有效地提高电池的循环稳定性跟倍率性能。在正极材料（层状结构：LiCoO₂, LiNixMnyCozO₂,富锂(Li-rich)xLi₂MnO₃·(1 − x)LiMO₂(M = Mn, Ni, Co)，尖晶石结构LiMn₂O₄)表面沉积的ALD镀层主要可以分为四类：a金属氧化物：Al₂O₃, TiO₂, ZrO₂, MgO, CeO₂, Ga₂O₃; b氟化物：AlF₃, AlWxFy; c磷化物：AlPO₄,FePO₄; d含锂化合物：LiAlO₂, LiTaO₃, LiAlF₄。

    “碳达峰”和“碳中和”一直都是能源领域的热点话题，作为助力“双碳”战略的生力军，光伏产业具有举足轻重的地位。目前光伏的主力是硅太阳能电池，它们具有效率高、稳定性好、产业链完备、使用寿命长的优势。然而，晶硅电池的转换效率到达瓶颈，且从硅料到组件至少经过4 道工序，单位制程需要3 天以上，同时还需要大量人力、运输成本等。为了让太阳能的利用更加便捷、高效且廉价，科学界和工业界正在研制新型太阳能电池；钙钛矿太阳能电池就是备受关注的后起之秀，钙钛矿叠层效率极限可达50%，而钙钛矿组件在单一工厂完成生产，原材料经过加工后直接成组件，没有传统的“电池片”工序，大大缩短制程耗时。但是，如何制备大面积且能保持较高效率的钙钛矿太阳能电池，依然是难题，也成了制约其产业化应用的瓶颈。

       原速ALD在钙钛矿电子传输层、空穴传输层、钝化层、封装阻水层等领域已取得了突破性进展，获得了业界的认可。为了更高效地服务于世界光伏产业高地，原速也在上海建立了技术研发中心。截止目前，公司已形成服务于钙钛矿电池研发、中试、100MW、 GW级量产的产线ALD技术解决方案。

1、ALD-SnO2 应用于钙钛矿电池电子传输层 

• ALD 相比于传统沉积技术，在制备超薄膜时具有更优异的均匀性和保形性，以及缺陷更少的优点

2、ALD-NiO 应用于钙钛矿电池空穴传输层 

• ALD 可用于制备性能优异的超薄（<10 nm）NiO 空穴传输层

3、ALD 应用于钙钛矿电池钝化层 

• ALD 超薄膜可以应用于界面处，通过和悬挂键反应的方式减少表面缺陷，或排斥载流子，达到钝化的效果

4、ALD 应用于钙钛矿电池封装 

• 致密的 ALD 膜可达到有效的阻水氧的效果

      近日，中石油江汉机械研究所有限公司（以下简称“江汉机械研究所”）再次签约青软青之共建LIMS实验室信息管理系统。旨在通过升级管理信息系统产品，助力江汉机械研究所实现全新管理变革和智能化全功能升级。

      江汉机械研究所对信息化建设工作非常重视，20年前，研究所就引进了青软青之的前身网软科技的LIMS系统，大大提高了实验员对分析数据的录入效率。风雨兼程20年，青软青之的LIMS产品已从网软科技的C/S版升级到B/S版，微服务架构及前后端分离技术让产品更灵活，能更好地满足客户的个性化需求，同时，江汉机械研究所的研发以及生产能力也在不断突破，随着数字化手段的进入，其信息化管理需求也更加多元化了，“老的C/S版LIMS系统”的方式已经难以满足实验室业务发展要求，需要使用更高效率的管理方式，提升实验室整体业务工作效率和数字化管理能力。

      基于此，青软青之将根据江汉机械研究所业务发展需要，对老C/S版LIMS系统进行数据迁移并升级，使实验室所有的仪器设备、检验流程、检验报告数据等要素都在一个体系内运转，随时可供追溯和查询，并实现实验室与其它部门业务的关联，促进实验室管理向信息化、标准化、规范化的大幅转变，并达到一定程度的智能化。

      在微纳集成器件进一步微型化和集成化的发展趋势下，现有器件特征尺寸已缩小至深亚微米和纳米量级，以突破常规尺寸的极限实现超微型化和高功能密度化，成为近些年来的热点研究领域。微纳结构器件不仅对功能薄膜本身的厚度和质量要求严格，而且对功能薄膜/基底之间的界面质量也十分敏感，尤其是随着复杂高深宽比和多孔纳米结构在微纳器件中的应用，传统的薄膜制备工艺越来越难以满足其发展需求。ALD 技术沉积参数高度可控，可在各种尺寸的复杂三维微纳结构基底上，实现原子级精度的薄膜形成和生长，可制备出高均匀性、高精度、高保形的纳米级薄膜。

       微机电系统(MEMS)是尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置，其内部结构一般在微米甚至纳米量级，是一个独立的智能系统，主要由传感器、动作器(执行器)和微能源三大部分组成，广泛应用于智能系统、消费电子、可穿戴设备、智能家居、系统生物技术的合成生物学与微流控技术等领域。MEMS的构造过程需要精细的微纳加工技术，而工作过程伴随着器件复杂的三维运动，其中ALD技术均可发挥重要作用，ALD具有高致密性以及高纵宽比结构均匀性，为MEMS机械耐磨损层、抗腐蚀层、介电层、憎水涂层、生物相容性涂层、刻蚀掩膜层等提供优质解决方案。

       磁隧道结(MTJ)是由钉扎层、绝缘介质层和自由由层的多层堆垛组成。在电场作用下，电子会隧穿绝缘层势垒而垂直穿过器件，电子隧穿的程度依赖于钉扎层和自由层的相对磁化方向。随着MTJ尺寸的不断缩小以及芯片集成度的不断提高，MTJ制备过程中的薄膜生长工艺偏差和刻蚀工艺偏差的存在，将会导致MTJ状态切换变得不稳定，并降低MTJ的读取甚至会严重影响NV-FA电路中写入功能和逻辑运算结果输出功能的正确性。ALD技术沉积参数高度可控，可通过精准控制循环数来控制MTJ所需达到的各项参数，是适用于MTJ制造的最佳工艺方案之一。

      生物物理学微流体器件可由单个纳米孔和电极组成，也可以由许多纳米孔阵列组成，可同时筛选、引导、定位、测量不同尺度的生物大分子，在生物物理学和生物技术领域中有着广泛的应用前景。生物纳米孔逐渐受到了人们的普遍重视引起了人们的广泛兴趣，尤其是纳米孔作为生物聚合物的检测器件，为一些生物化学现象的基础研究提供了研究的平台。然而生物纳米孔所固有的一些缺陷也很明显，如生物相容性差及微孔的尺寸不可更改等；针对于此，ALD技术可通过表面修饰，改善纳米孔的生物相容性，同时提升抗菌抑菌和促进细胞合成。

图一: ALD Al2O3(仅~10 nm)可作为MEMS齿轮高硬度润滑膜

图二：ALD应用于低温MEMS器件构造

图三：MRAM磁隧道结（MTJ）存储元件

图四：一种具有纳米蛛网结构的细菌纤维素膜

 喷雾干燥机性能特点及应用范围如下:
1 食品工业：密脂奶粉、胳朊、可可奶粉、代乳液、猪血粉、蛋青（黄）等。
2 食物及植物: 燕麦、鸡汁、咖啡、速溶茶、调味香料肉、蛋白质、大豆、花生蛋白质、水解物等。
3 糖类: 玉米浆、玉米淀粉、葡萄糖、果胶、麦芽糖、山梨酸钾等。
4 塑料树脂：AB、ABS乳液、尿醛树脂、酚醛树脂、密胶（脲）甲醛树脂、聚乙烯、聚氟乙烯等。
5 化学工业：氟化钠（钾）、碱性染料颜料、染料中间体、复合肥、甲醛硅酸、催化剂、硫酸剂、氨基酸、白炭黑等. 6 陶瓷：氧化铝、瓷砖材料、氧化镁、滑石粉等。

       果蔬汁或果蔬浆制粉品可采用喷雾干燥，其制品的速溶性较好。用果蔬汁制粉品前往往需要添加某些物质，如糖、淀粉等，否则其同形物含量过少。由于果蔬浆在制粉品前，含有大量糖分、果胶等黏性物质，故需将其加水稀释，也由此造成能耗急剧增加。因此，用于汤料和固体饮料。用于调料的果蔬粉品，可用果蔬干片（湿含量低于4%），磨成符合要求细度的粉品，此种粉品风味更浓，而溶解性较差，但加工时的能耗远远低于喷雾干燥的能耗。

      压力喷雾干燥机应用范围：
化工：有机催化剂，树脂，合成洗衣粉，油脂类，硫铵，染料，染料中间体，白碳黑，石墨，磷铵等。
食品：氨基酸及类似物，调味料，蛋白质，淀粉，乳制品，咖啡抽取物，鱼粉，肉精等。
制药：中成药，农药，***，医药冲剂等。
陶瓷：氧化镁，瓷土，各种金属氧化物，白云石等。
喷雾造粒机应用范围：
各种肥料，氧化铝，陶瓷粉，制药，重金属超硬钢，化肥，粒状洗衣粉，中成药等。
喷雾冷却造粒应用范围：
胺基脂肪酸，石蜡，甘油酸脂，牛脂等。
喷雾结晶，喷雾浓缩，喷雾反应等方面也经常使用。

      气流喷雾干燥机应用范围：
1.化学工业：白炭黑、硫酸钡、洗涤剂、CR助剂、胶乳、净水剂、树脂、碱式硫酸铬、氧化铝、氧化钛、高岭土、铁氧体、块滑石、碳化物、肥料，腐值酸、染料、混凝土外加剂、塑料、冰晶石等。
2.食品工业：糊精、麦芽糖、蛋白fen、蛋黄粉、低聚糖、颗粒油脂、速溶咖啡、淀粉、香料、果蔬颗粒
3.医药工业：中西药粉剂、***、生化产品、维生素、农药粉剂、水解蛋白、酶、单细胞蛋白等。
4.乳品工业：脱脂奶粉、全脂奶粉、豆奶粉、冰淇淋粉、乳精粉、酷朊酸钠等
5.环保：烟气脱硫、造纸黑液及药厂废液处理等
6.建材工业：陶瓷坯料、釉料、超细粉料等
7.其他：鱼粉废液、饲料

       喷雾干燥同其他干燥方法相比较，喷雾干燥具有许多优点：
(l)干燥速度快，物料受热时间短
(2)干燥条件和产品的质量指标易于调节
(3)生产***，操作人员少
(4)生产过程简化，后续工序少

       由于喷雾干燥的以上特点，其适合干燥的物料主要有：
(1)水果和蔬菜杏、芒果、天门冬类、椰奶、香蕉、桃、蚕豆、洋葱、甜菜根、番茄、胡萝h、软果类、柑橘填充物等。
(2)乳制品牛奶、奶油、冰淇淋粉等。
(3)蛋白制品豆粉、蛋粉等。
(4)糖类制品葡萄糖类制品。
(5)谷类制品麦精、淀粉等。
(6)酵母制品酵母粉、饲料酵母等。
(7)饮料制品速溶咖啡、速溶茶、可可等。
(8)香料制品天然香料、合成香料等。
(9)肉、鱼类制品骨粉、血浆粉、鱼粉等。

氧气检测仪应用范围？

马弗炉是一种通用的加热设备，依据外观形状可分为箱式炉、管式炉、坩埚炉。

（1）热加工、工业工件处理、水泥、建材行业,进行小型工件的热加工或处理。

（2）医药行业：用于药品的检验、医学样品的预处理等。

（3）分析化学行业：作为水质分析、环境分析等领域的样品处理。也可以用来进行石油及其分析。

（4）煤质分析：用于测定水分、灰分、挥发分、灰熔点分析、灰成分分析、元素分析。也可以作为通用灰化炉使用。

YAMATO 马弗炉 FO111C/211C/311C/411C/511C/611C/811C优势

·可进行程序运行。
·上下键操作设定更简易，配载了操作性优良的控制 器，实现温度控制的高精度。
·设定温度、时间、指示值都可进行数字表示。
·采用数字设定与超温保护一体的控制器。发生异常 时可进行自诊断功能、过电流漏电保护·开关等安全 控制。
·温度传感器采用寿命长的R型热电偶。 
·配备了排气口。
·还准备了排气装置、试料盒、氮气导入装置（付流 量计）、温度输出端子等选购功能

YAMATO 马弗炉 FP111C/311C/511C优势

·高品质陶瓷炉体，加热器内置，不会被样品污染。可进行程序运行。
·上下键操作设定更简易， 配载了操作性优良的控制器，实现温度控制的高精度。
·设定温度、时间、指示值都可进行数字表示。
·采用数字设定与超温保护-体的控制器。发生异常时可进行自诊断功能、过电流漏电保护开关等安全控制。
·温度传感器采用寿命长的R型热电偶。
·配备了排气口
·还准备了排气装置、试料盒、氮气导入装置(付流里计)、温度输出端子等选购功能。

结构简单、轻便、零件通用性强、使用维修便捷，是紫外线分析仪的基本特点，紫外线分析仪也叫三用紫外分析仪。
紫外线分析仪在科学实验工作中可以用来检测许多主要物质如蛋白质、核苷酸等，也成为实验室分析过程中的重要而且是必要的仪器设备。

紫外线分析仪还有以下些应用范围。

1、在生产和研究中，紫外线分析仪可用来检查生物质碱、维生素等各种能产生荧光药品的质量，特别适宜
作薄层分析、纸层分析斑点和检测。
2、在染料涂料橡胶、石油等化学行业中，紫外线分析仪可测定各种荧光材料、荧光指示剂及添加剂，鉴别不同种类
的原油和橡胶制品。
3、在纺织化学纤维中可用于测定不同种类的原材料如羊毛、真丝人造纤维、棉花、合成纤维并可检查成品质量。
4、在粮油、蔬菜、食品部门可用于检查、食品添加剂、变质的蔬菜、水果、巧克力、脂肪、蜂蜜
糖、蛋等的质量。
5、紫外线分析仪还可用于GA部门的证明鉴别等。