仪器网（yiqi.com）欢迎您！

随着工业制造水平的不断提高，制造出的各类工业产品也越来越智能化，产品的升级随之而来的是产品的检测要求也越来越精细，对检测的设备也提出了更高的要求，尤其是半导体、平板显示、电子器件、高精密电路板制造以及材料等领域，所需要的显微镜检测设备越发精细化，不仅要极其准确还得智能。在众多的显微镜公司及显微镜产品中，奥林巴斯公司是世界中具有先进光学技术的代表企业，多年来一直在显微镜领域攻克难关，进行光学技术的创新，推出了与时俱进的奥林巴斯激光显微镜OLS5100，颠覆了传统激光显微镜，将大数据、科技智能等高端技术融入了新一代的3D测量激光显微镜中，助力我国工业领域的发展。

奥林巴斯LEXT OLS5100是全新的一代激光显微镜，它可观察纳米范围的台阶，可测量亚微米级别的高度差，还可测量从线到面的表面粗糙度，在这些方面上的测量上，OLS5100通过它的智能物镜选择助手和智能实验管理助手，以非接触、非破坏的观察方式轻松实现3D观察和测量，容易、准确、快速!

何为智能物镜选择助手?它如同机器人一样，给它下达指令，就能给你完成你想要的目的。智能物镜助手也一样，它能帮助您确定哪款物镜最适合用于样品表面的粗糙度测量。它通过三个步骤就能完成你对物镜的选择：首先，启动智能物镜选择助手功能。 第二，点击开始。第三，它就会确定并告诉你所选择的物镜是否适合当前被检测的样品。这样一来，就能顺利减少因错误选择物镜造成的实验时间浪费，同时还能让测量结果保持稳定，不受操作员技能水平的影响。

智能实验管理助手，它是一个帮助用户管理实验计划、采集和分析的软件。在测量过程中可根据软件生成的定制实验计划扫描样品，所有的检测分析过程全部显示在屏幕上，这样的可视化可让用户在分析中更容易发现问题，优化检测结果，从而节省更多的时间和人力。

制造业在变革，智能化转型升级是必然的结果，奥林巴斯不断开拓打造先进的测试和测量解决方案，为各行各业提供好用方便的检测武器。而奥林巴斯激光显微镜OLS5100顺应改革潮流，除了出色的激光共焦光学系统获得更加清晰的图像外，还配备了智能物镜选择助手和智能实验管理助手，无需制备样品、非接触面粗糙度分析和GX率的亚微米3D测量强大功能，测量准确、可靠稳定的奥林巴斯激光显微镜成为了制造研发和质量保障的重要设备。

奥林巴斯LEXT™OLS5100激光显微镜

随着工业制造水平的逐渐提升，应用领域对工业显微镜技术提出了更高的要求。为确保亚微米3D观察和表面粗糙度测量获得高水平的准确性和精度，奥林巴斯全新推出的LEXT™OLS5100激光显微镜，推出保证准确度和重复性的智能功能*，让材料科学实验的流程更快、更GX。

奥林巴斯自1920年自主研发了DY台商用显微镜“旭号”开始，就一直在显微镜领域攻克难关，进行光学技术的创新，始终站在显微镜领域发展的前沿。依托自身在光学领域累积的先进技术和经验，奥林巴斯不断进取开拓，将大数据、科技智能等技术融入到新一代的3D测量激光显微镜产品当中，为客户带来新的价值提升，助力ZG工业领域的前进与发展。

检测流程 简化测量

由于具备无需制备样品、非接触面粗糙度分析和GX率的亚微米3D测量强大功能，激光显微镜成为了制造研发和质量保障的重要设备。尽管如此，某些任务（如创建和管理实验计划以及选择合适物镜）仍然既耗时又容易出错。奥林巴斯LEXT™ OLS5100 3D测量激光显微镜的智能功能，为用户提供了全新的解决方案。

该显微镜的智能实验管理助手（SmartExperiment Manager）可帮助用户管理实验的计划、采集和分析。显微镜可根据软件生成的定制实验计划扫描样品，让您避免丢失数据或重复工作。此外，该软件的趋势可视化工具还可让用户在分析过程中更容易发现问题，优化测量检测结果。

奥林巴斯LEXT™OLS5100激光显微镜

测量精度 可靠稳定

物镜是显微镜最重要的光学部件，利用光线使被检物体首次成像，因而直接关系和影响成像的质量和各项光学技术参数。在实际开展测量工作中，不同检测对象所需物镜大小不尽相同，因此，对于从业人员有很巧的技术、经验要求。

不用再靠猜测，OLS5100显微镜的智能物镜选择助手（Smart Lens Advisor）可以为表面粗糙度测量选出合适的物镜。智能物镜选择助手可通过三个简单的步骤根据应用情况对物镜评分，用户由此即可知道其所使用的物镜是否合适，让测量结果保持稳定，不受操作员技能水平的影响。

可靠数据 一键获取

作为一款智能3D测量激光显微镜，奥林巴斯LEXT™ OLS5100颠覆了传统激光显微镜操作复杂的现状，让数据采集变得轻松简单。所有必要的设置调整和数据采集均由显微镜自动完成，操作员只需将样品放在载物台上，按下开始按钮即可，用户就能针对亚微米3D观察和表面粗糙度进行精细的形貌测量。

凭借出色的测量精度和光学性能，辅以让系统更加易于使用的智能工具，奥林巴斯LEXT™ OLS5100 3D测量激光显微镜能够有效简化实验流程并提供值得用户依赖的高质量数据，将在半导体、平板显示、精密机械部件、电子器件、微机电系统、高精密电路板制造以及材料等领域有着非常广泛的应用前景。

随着工业4.0时代的到来，智能制造在工业领域得到广泛应用。奥林巴斯LEXT™ OLS5100 3D测量激光显微镜的发布为用户带来GX服务的同时，也顺应了智能制造的变革潮流，加速行业智能化转型升级。未来，奥林巴斯将继续秉承“实现世界人民的健康、安心和幸福生活”的企业使命，不断开拓、开发和打造领先的测试和测量解决方案，为ZG工业科技领域的发展和进步贡献企业力量。

夏季，一直是一个用电的高峰期。是什么确保电厂可以源源不断给我们供电？又是什么在守护电厂的安全生产？今天我们就来探讨一下怎样GX的进行热电行业的维护。

工业内窥镜在锅炉、汽轮机、变压器等方面都能发挥重要的作用！

工业内窥镜可以观察锅炉的腐蚀、结垢、裂纹、变形、焊缝、堵塞异物等。 上图为，某电厂锅炉爆管，使用奥林巴斯IPLEX内窥镜将爆管后产生的氧化皮从管路中捞出。

工业内窥镜可以观察汽轮机的变形、裂纹、烧蚀等。 上图为，对电厂燃气轮机叶片的检查。定期观察叶片有无裂纹、变形等情况，避免对设备产生安全隐患。

工业内窥镜可以观察变压器油枕、变压器筒体、断路器电阻片、线圈等。 变压器在长期运行后，油枕内部会有渗油，对变压器的绝缘效果会有所影响，用内窥镜检查可以判断渗油情况并且记录下来。

现在工业内窥镜还配备了3D测量功能，不再需要长时间斟酌测量物体，也不需要反复调整被测物体。

• 立即确认被测量物体

• 在任何的测量区域上都能设定您所想要的参考线

• 让深度测量变的更加自信

• 耐用性更高

汽车技术清洁度，这是一个对组件及零部件的很严格且非常重要的一个标准，汽车行业对此有着高标准的要求，指令对于确定重要机械部件颗粒物污染的方法和存档要求均有表述，尤其在汽车和航空航天零部件上。因为在汽车/航空航天零部件上颗粒污染物对于零部件的使用寿命及安全性存在直接影响，极微小的颗粒都有可能引发灾难性的故障。所以零部件上的常见微观尺寸污染物和异物颗粒的计数、分析和分类都有严格控制在一个范围内，而在这颗粒污染物的检测中，使用到奥林巴斯汽车清洁度显微镜，检测速度快、直观可靠、自动化程度高。

对于汽车的组件及零部件的清洁度要求，都需要按照这个步骤进行检测，提取→过滤→称重→检测→复审→结果，这才是一个汽车零部件完整的检测流程，而这过程中，显微镜的检测是非常关键的步骤。使用奥林巴斯汽车清洁度显微镜CIX100，只需要把汽车零部件放置到载物台上，就能自动进行扫描检测，所检测的数据直观可靠，还便捷。

检测速度快

它利用创新偏光方法，一次扫描中就能实现对尺寸介于2.5 μm至42 mm之间的反光金属颗粒及非反光非金属颗粒物的高性能图像采集和精确的实时分析。这种独有的一体式扫描解决方案，其完成扫描的速度是传统调节检偏式检测系统的两倍，而且还会自动对颗粒进行计数及分类，检测人员能快递辨别。

直观可靠

CIX100在检测过程中，所有相关的数据，包含正在采集的图像和概览图像，都会实时显示，所有已被计数和分类的颗粒也都会实时显示，并且所有相关数据均在一个界面显示，这可使操作人员在发现有过多的污染物时停止或中断检测，很直观，测量的数据也可靠。

另外，奥林巴斯的汽车清洁度显微镜CIX100其所有部件均已针对高生产率系统数据的精确性及无缝集成进行优化，拥有可再现性和可重复性功能，还可通过自动化关键任务功能大大减少人为错误，确保所测量出的数据确保可靠、准确。

自动化程度高

奥林巴斯的CIX100汽车清洁度显微镜，独有的一体式扫描技术一次扫描测量，自动实时处理和分类，还能直接生产一键报告可直接进行数据存档，并通过检测报告结果自动存储和进行数据分享管理。从开始到报告结束，几乎是由显微镜自动独立完成，检测人员只需进行程序设计，及观察检测中的画面即可，高自动化程度大大减轻了工作人员的工作量，轻松采集清洁度数据。

奥林巴斯的CIX100汽车清洁度显微镜，它所有的检测都是依据汽车和航空行业采用的主要标准来进行评估，所有的汽车组件及零部件检测之后，都能满足现代工业及标准的清洁度要求，包括各类尺寸污染物及异物颗粒的计数、分析和分类等高标准要求。奥林巴斯作为优秀先进的光学技术企业，在开发、制造、批量生产以及成品质量控制上也精益求精，力求为要求清洁度标准的生产制造商提供快捷、准确可靠的整体解决方案。

说到5G技术，我们会想到一个字：快！

更严谨的来说，5G技术有3大优点：

1.    超大连接

2.    超快速度

3.    超低延时

高速，同样需要付出代价，那就是：传输损耗

研究发现，高频信号比低频信号更容易造成信号传输损失。所以，为了有效传输5G信号，需要使用传输损耗低的PCB板。这里说的PCB板主要是指应用在5G通讯基站上的高速高频多层板。多层板，是指拥有3层以上的导电图形层。通过在核心层的顶层和底层重复蚀刻过程和钻孔过程，可以形成任意数量的层。

在高频的信号下，5G的趋肤效应更加明显。趋肤效应是指，高频电流流过导体时，电流会趋向于导体表面分布，越接近导体表面电流密度越大。这是频率较低时，铜电路里面的信号流动区域，信号时充满整个区域的。频率ZG，信号趋向于表面分布频率越高，铜箔表面的电流密度越大。这是电流与趋肤深度和频率的关系图：

原来在PCB的生成过程中，会对铜箔的表面进行粗化处理，从而得到较好的结合强度。但是在5G高频信号下，信号集中在铜箔表面。如果是在粗糙度较大的铜电路表面，信号传输的路径很长，传输损耗增加。

如果是在粗糙度较小的铜电路表面，信号传输的路径变短，传输损耗就会降低。

总的来说，铜箔表面既需要大的粗糙度来增强结合强度，同时也需要小的粗糙度来降低趋肤效应。所以，以下的两点在铜箔的检测中就显得十分重要：

1.    非接触形式的测量

2.    更小的粗糙度数值

还记得奥林巴斯上个月发布的新品OLS5100吗？

针对上述这样较为严格的检测条件，奥林巴斯OLS5100的粗糙度测量功能，可以很好的匹配这样的测量诉求。

接触式表面粗糙度仪用触针直接在铜箔表面划过，可能会损坏铜箔样品，难以得到准确的测量结果。OLS5100显微镜采用非接触的测量方式，不会损坏样品，可以获得准确的数据结果。

OLS5100显微镜使用直径0.4μm的激光束扫描样品表面，这让其能够轻松测量接触式表面粗糙度仪无法测量的样品表面粗糙度。这种同时获取接触式表面粗糙度仪无法获得的表面彩色图像、激光图像和3D形貌，使得更多分析功能得以实现。

同样的，为了满足非接触以及更为精细的粗糙度检测，对测量器材就有了一定的要求，尤其在物镜选择上。要想实现精确的粗糙度测量，选择合适的物镜非常重要。

其“智能物镜选择助手（Smart Lens Advisor）“，就是帮助检测顺利进行的好帮手。

我们通过智能物镜选择助手（Smart Lens Advisor），只需选中物镜后启用智能物镜选择助手，单击开始，智能物镜选择助手（Smart Lens Advisor）就会告诉您该物镜的推荐程度。这样，就可以确定您所使用的物镜对于测试而言是否合适。

智能物镜选择助手（Smart Lens Advisor）通过三个简单步骤即可避免通过猜测为粗糙度测量选择合适的物镜。只需确定您的视场，启动智能物镜选择助手（Smart Lens Advisor），然后按下开始按钮，软件就会告诉您所选的物镜是否适合您的实验。

这样一来，就能顺利减少因错误选择物镜造成的实验时间浪费。

在智能物镜选择助手（Smart Lens Advisor）的帮助下检测过关的铜箔，就可以成为低耗PCB的材料，保证了大家在5G技术加持下，高速的网络体验。

说到5G技术，我们会想到一个字：快！

更严谨的来说，5G技术有3大优点：

1.    超大连接

2.    超快速度

3.    超低延时

高速，同样需要付出代价，那就是：传输损耗

研究发现，高频信号比低频信号更容易造成信号传输损失。所以，为了有效传输5G信号，需要使用传输损耗低的PCB板。这里说的PCB板主要是指应用在5G通讯基站上的高速高频多层板。多层板，是指拥有3层以上的导电图形层。通过在核心层的顶层和底层重复蚀刻过程和钻孔过程，可以形成任意数量的层。

在高频的信号下，5G的趋肤效应更加明显。趋肤效应是指，高频电流流过导体时，电流会趋向于导体表面分布，越接近导体表面电流密度越大。这是频率较低时，铜电路里面的信号流动区域，信号时充满整个区域的。频率变大，信号趋向于表面分布频率越高，铜箔表面的电流密度越大。这是电流与趋肤深度和频率的关系图：

原来在PCB的生成过程中，会对铜箔的表面进行粗化处理，从而得到较好的结合强度。但是在5G高频信号下，信号集中在铜箔表面。如果是在粗糙度较大的铜电路表面，信号传输的路径很长，传输损耗增加。

如果是在粗糙度较小的铜电路表面，信号传输的路径变短，传输损耗就会降低。

总的来说，铜箔表面既需要大的粗糙度来增强结合强度，同时也需要小的粗糙度来降低趋肤效应。所以，以下的两点在铜箔的检测中就显得十分重要：

1.    非接触形式的测量

2.    更小的粗糙度数值

还记得奥林巴斯上个月发布的新品OLS5100吗？

针对上述这样较为严格的检测条件，奥林巴斯OLS5100的粗糙度测量功能，可以很好的匹配这样的测量诉求。

接触式表面粗糙度仪用触针直接在铜箔表面划过，可能会损坏铜箔样品，难以得到准确的测量结果。OLS5100显微镜采用非接触的测量方式，不会损坏样品，可以获得准确的数据结果。

OLS5100显微镜使用直径0.4μm的激光束扫描样品表面，这让其能够轻松测量接触式表面粗糙度仪无法测量的样品表面粗糙度。这种同时获取接触式表面粗糙度仪无法获得的表面彩色图像、激光图像和3D形貌，使得更多分析功能得以实现。

同样的，为了满足非接触以及更为精细的粗糙度检测，对测量器材就有了一定的要求，尤其在物镜选择上。要想实现精确的粗糙度测量，选择合适的物镜非常重要。

其“智能物镜选择助手（Smart Lens Advisor）“，就是帮助检测顺利进行的好帮手。

我们通过智能物镜选择助手（Smart Lens Advisor），只需选中物镜后启用智能物镜选择助手，单击开始，智能物镜选择助手（Smart Lens Advisor）就会告诉您该物镜的推荐程度。这样，就可以确定您所使用的物镜对于测试而言是否合适。

智能物镜选择助手（Smart Lens Advisor）通过三个简单步骤即可避免通过猜测为粗糙度测量选择合适的物镜。只需确定您的视场，启动智能物镜选择助手（Smart Lens Advisor），然后按下开始按钮，软件就会告诉您所选的物镜是否适合您的实验。

这样一来，就能顺利减少因错误选择物镜造成的实验时间浪费。

在智能物镜选择助手（Smart Lens Advisor）的帮助下检测过关的铜箔，就可以成为低耗PCB的材料，保证了大家在5G技术加持下，高速的网络体验。

       奥林巴斯显微镜的鉴别能力是显微镜也是物镜Z重要的特性, 它是指显微镜对于试样上Z细微部分所能获得清晰映象的能力, 通常用可以辨别的物体上两点间的Z小距离用来表示被分辨的距离越短,值越小, 则奥林巴斯显微镜的鉴别能力越高在金相显微镜中, 在充分利用物镜分辨率的同时, 又为人眼所能清晰分辨的放大倍称为显微镜的有效放大倍数，此放大范围内的倍数即为显微镜的有效放大倍数, 此范围即为显微镜的有效放大倍数范围,当选用物镜与目镜配合的放大倍数, 小于有效倍数范围时则说明使用不当, 不能将物镜的分辨率充分利用。奥林巴斯显微镜，可观察到用有效放大倍数拍摄的显微组织真实而清晰, 用非有效放大倍数拍摄的显微组织弯曲拉长且模糊。
　　新买的或长期未用的奥林巴斯显微镜在使用前应进行认真的质量检查，检查步骤如下：
　　开箱清点新买的奥林巴斯显微镜在开箱前须先检查物品名称、型号、厂名、一规格、件数是否与订货单相符，外包装物是否破损，如发现间题，须详细记录，及时向有关经销或管理部门报告，查明原因才能开箱检验。用开箱工具开箱，动作要轻稳，上下方向不要颠倒。开箱后，可按装箱单、产品合格证、说明书、订货单进行细致的清点和检查，看奥林巴斯显微镜型号、零件、部件和附件型号、规格、数量、出厂日期、编号是否相符合，仪器是否成套，然后进行仪器的外观检查:仪器的电镀表面不应有脱皮和生锈斑点，漆面不能有碰伤痕迹和脱落;零件不能有变形和毛刺;螺钉不能发生脱落或不对码，连接部分不能有松动，所有刻度和刻字均须明显、清晰。
　　装配和安放开箱清点完毕后可按奥林巴斯显微镜说明书的步骤和要求进行装配。装配的环境要干净，放置奥林巴斯显微镜的实验台要平稳，Z好有安放显微镜的专用工作台。奥林巴斯显微镜取出时须旋转微调焦螺钮，使载物台位于Z高位置，然后才能取出“H”形的支承木架，否则载物台会因支承木架强行取出而突然下降，使仪器微动机构受损。装配时应将沾有灰尘的部件用软毛刷或吹耳球、软布等将灰尘轻轻地除净。光学部分不能随便擦拭，清洗方法详见显微镜的保养部分。装配好的奥林巴斯显微镜暂不用时，可置桌上，外加防尘罩，不使用的显微镜应放入镜箱内。
　　光学部件的检查可采用对光检查，检验光学零件表面清洁情况，如有无指印、油迹、霉点，有无脱胶、气泡、破损，照明光源,是否有效、安全可靠等。
　　机械结构的检查包括检查显徽镜的各转动调节和移动部件是否平稳有效，粗、微调焦机构是否有效，是否会自行下滑，在仪器旁施以适当的人为振动，如果象面仍清晰，说明调焦机构等部位是稳定的。
　　仪器性能检验奥林巴斯显微镜的性能检验，显微镜性能检验十分重要，主要看仪器说明书上所列的主要性能是否得到保证。

（来源：上海西努光学科技有限公司）

晶圆是制作半导体材料的主要部件，而在半导体晶圆的整体制造过程有400 至600个步骤，历时一到两个月完成。因此缺陷检测对于半导体制造过程非常重要，如果流程早期出现任何缺陷，则后续步骤中执行的所有工作都将被浪费，所以在半导体制造过程中缺陷检测是其中的关键步骤，用于确保良率和产量。这就需要用到技术先进的晶圆半导体显微镜来进行缺陷检测，主要用于识别并定位产品表面存在的杂质颗粒沾污、机械划伤、晶圆图案缺陷等问题。

针对晶圆严格检测需求，奥林巴斯的MX63系列晶圆半导体显微镜，除了拥有图像清晰、易操作、检测速度快的优势之外，还针对晶圆缺陷检测做出了一系列的特殊功能，确保晶圆检测的准确性。

可供选配的AL120系统的晶圆自动搬送机

晶圆自动搬送机是奥林巴斯备选的，可安装在MX63系列上，使用AL120系统可实现无需使用镊子或工具，即可安全地将硅及符合半导体晶圆从晶圆匣运送到显微镜载物台上。此显微镜优越的性能和可靠性能够安全、有效地对晶圆正面和背面进行宏观检测，同时搬送机还可帮助提高实验室工作效率。

快速清洁无污染的检测

奥林巴斯MX63系列晶圆半导体显微镜可实现无污染的晶片检测，其显微镜所有电动组件均安装在防护结构壳内，干净无污染，同时显微镜架、镜筒、呼吸防护罩及其他部件均采用防静电处理。

另外，MX63系列采用的是电动物镜转换器，电动转换器的转速比手动物镜转换器更快更安全，在缩短检测间隔时间的同时让操作人员的手始终保持在晶圆下方，避免了潜在的污染。

大尺寸晶圆一样能实现有效观察

MX63系列晶圆半导体显微镜利用内置离合和XY旋钮，能够实现对载物台运动的粗调和微调，即便是针对300mm的晶片这样的大尺寸样品，载物台也能够实现有效的观察。

适合所有晶圆尺寸

晶圆的尺寸有很多，而奥林巴斯的晶圆半导体显微镜可配合各类150-200mm和200-300mm晶圆托架和玻璃台板使用，如果生产线上的晶圆尺寸发生变化，可更改载物台或者镜架，各种载物台均可用于检测75mm、100mm、125mm、150mm的晶圆甚至300mm的晶圆检测。

晶圆检测是主要的芯片产品合格率统计分析方法之一，而在芯片的总面积扩大和相对密度提升的情况下，对晶圆的要求也不断升级，晶圆检测也越来越精细，这就需要更长的检测時间及其更为高精密繁杂的检测设备来实行检测。奥林巴斯MX63系列晶圆半导体显微镜，融合了奥林巴斯先进的光学技术和数字技术，拥有简便的直观操作和稳定的可靠性，可为用户创建简洁合理的工作流程和灵活有效的解决方案，让晶圆的检测更准确、更简单。

每个电子产品都是由几十上百的电子零部件组成，但成千上万规格相同的电子零部件是如何做到统一分毫不差的？答案就是工业显微镜。工业显微镜的出现，不仅使得电子零部件的检测和规格达到了一个高度的统一，也让这些电子零部件的合格率大大提升。在众多显微镜中，比较出色的要数奥林巴斯电子零部件显微镜DSX1000的数码显微镜，它的放大倍率范围为20X至7000X，让您既可以在低放大倍率下进行高质量的整体观察，又可以快速放大以开展微米级的详细分析。其大景深和长工作距离方便您检验较大样品，同时，您还可通过自由角度观察系统从多个方向进行样品成像。

DSX1000是以“奥林巴斯JD光学技术”为基因的“全能”数码显微镜,相比较于之前的产品，它从视场范围、多种观察模式、远光系统测量结果、操作方式等几个主要方面进行了全面的升级，您只需要一台奥林巴斯电子零部件显微镜DSX1000 显微镜就可满足各种观察和分析需要，并有效改善检验的工作流程。

旋转物镜载物镜视场范围更广

视场范围的大小对检测样品非常重要，DSX1000针对用户需求,为扩大视场范围做了很大的努力,新增了5个物镜，可选择的物镜总数达到了17个，还使工作距离增加到66mm，大尺寸的样品检测都完全没有问题。目前,DSX1000视场范围可以在50um到19.2mm间随意切换,20-7000X 的放大倍率实现了准确观察，让用户宏观观察和细微分析的需求都能同时得到满足。

此外,DSX1000还为用户提供了自由角度观察系统，显微镜头部和载物台都可以旋转±90°,真正实现了对样品360°无死角的观察和分析，让比较难检测的晶圆、大型样品、汽车部件等，变得更加容易。

多种观察模式更全面

最令人惊讶的是DSX1000的多种观察模式，它的电动变焦光路结合了先进的观察功能，实现了六种观察方法：明场、倾斜、暗场、MIX、偏光和微分干涉，还有对比度增强功能。检测者在检测样品时，可通过尝试不同的观察方式，来进行对样品的观察与测量，所得出的结果更加全面，更加JZ。这是任何一种单一的观察方式难以得到的数据，6种一键切换的观察方式，能确保检测的样品不会错漏任何的细节，全面且JZ。

远光系统测量让结果更JZ

奥林巴斯DSX系列一直引以为傲的就是它的可靠性,DSX1000延续了奥林巴斯DSX系列高水准的可靠性。它采用了远心光学系统,在调整焦点改变焦点位置时，图像的尺寸保持不变，可提高测量结果的准确度有效排除了图像转化效应,使其在整个放大范围内的图像失真极低。

除了以上几个比较突出的优点之外,奥林巴斯电子零部件显微镜DSX1000电子零部件显微镜在新开发的算法下，可以实现更快的3D图像采集,速度比传统数码显微镜快10倍，按下按钮能快速获取 3D 图像改进的拼接算法，提供无明显边界的更加清晰的图像，为样品测试的准确度和重复性提供了保证。

在零部件要求严格的产品中，不管是汽车制造商、精密设备制造商，还是其他产品制造商都必须准确测量和分析产品的规格，以证明产品的安全性。而诞生于1919年的奥林巴斯,在100年的历史中，不断地积累沉淀、改革创新，根据用户实际需求研发出的DSX1000奥林巴斯电子零部件显微镜，带来的不仅是简单操作，更重要的是批量的JZ及有效。

    包装薄膜材料常使用传统红外光谱进行表征，但传统FTIR通常只能测单一红外光谱，不具备样品红外光谱成像功能或成像空间分辨率受红外波长限制，通常仅为5-10 μm。在实际应用中，层状材料越来越薄，这对常规FTIR技术的空间分辨率提出了极大的挑战。

全新光学光热红外光谱技术

    光学光热红外光谱技术（O-PTIR）可在非接触反射模式下对多层薄膜进行亚微米级的红外表征，同时探针激光器会产生拉曼散射，从而以相同的亚微米分辨率在样品的同一点同时捕获红外和拉曼图像。基于光学光热红外光谱技术的非接触亚微米分辨红外拉曼同步测量系统的工作原理是：光学光热红外光谱技术通过将中红外脉冲可调激光器与可见探测光束结合在一起，克服了红外衍射极限。将红外激光调谐到激发样品中分子振动的波长时，就会发生吸收并产生光热效应。如图1所示，可见光探针激光聚焦到0.5 μm的光斑尺寸，通过散射光测量光热响应。红外激光可以在一秒钟或更短的时间内扫过整个指纹区域，以获得红外光谱。

图 1． 非接触亚微米分辨红外拉曼同步测量系统 红外和拉曼光谱的光束路径示意图。

 红外&拉曼同步测量

    传统的透射红外光谱通常不能用于测量厚样品，因为光在完成透射样品之前会被完全吸收或散射，导致几乎没有光子能量到达检测器。由于光学光热红外光谱技术是一种非接触式技术，因此非接触亚微米分辨红外拉曼同步测量系统可以对较厚的样品进行红外测量，极大地简化了样品制备过程，提升了易用性。在图2中，作者使用非接触亚微米分辨红外拉曼同步测量系统针对嵌入环氧树脂中的薄膜样品横截面进行了分析。

    图2线阵列中各点之间的数据间隔为500 nm。 由于非接触亚微米分辨红外拉曼同步测量系统与传统FTIR光谱具有极好的相关性，因此可以使用现有的光谱数据库搜索每个光谱。对红外光谱的分析对照可以清楚地识别出不同的聚合物层，聚乙烯和聚丙烯，以及嵌入的环氧树脂。

图 2．上：薄膜横截面的40倍光学照片；中：红外光谱从标记区域收集；下：同时从标记区域收集拉曼光谱。

化学组分分布的可视化成像

    当生产层状薄膜时，产品内部的化学分布是产品完整性的重要组成部分。非接触亚微米分辨红外拉曼同步测量系统独特地实现了高分辨率单波长成像，以突出显示样品中特定成分的化学分布。非接触亚微米分辨红外拉曼同步测量系统可以在每层的独特吸收带处采集图像，以此实现显示层的边界和界面的观察。图3展示了多层膜截面的光学图像。从线阵列数据可以看出，中间位置存在一个宽度大约为2 μm的区域，该区域与周围区域的光谱差异很大。红色光谱显示1462 cm^‑1处C-H伸缩振动显著增加。

图3. 上：薄膜截面的40倍光学照片；下：标记表示间距为250 nm的11 µm线阵列。

    红外单波长成像使我们能够清晰地可视化层状材料的厚度和材质分布，如图4所示。从图像中可以看出，非接触亚微米分辨红外拉曼同步测量系统红外显微镜可以在非接触状态下进行反射模式运行，以高的空间分辨率提供单波长图像。

图4. 红外单波长成像层状材料的成分分布。

总结

    通过同时收集红外和拉曼光谱，科学家发现非接触亚微米分辨红外拉曼同步测量系统可被广泛用于分析各种多层膜。收集的光谱与传统的FTIR光谱显示出> 99%相关性，并且可以在现有数据库中进行搜索。此外，使用非接触亚微米分辨红外拉曼同步测量系统进行单波长成像可实现亚微米分辨率样品中组分的可视化。通过该技术，我们可以更好地了解薄膜材料的整体构成。总体而言，非接触亚微米分辨红外拉曼同步测量系统首次提供了可靠且可视化的亚微米红外光谱，目前它已在高分子、生命科学、临床医学、化工药品、微电子器件、农业与食品、环境、物证分析等领域得到广泛应用并取得了良好的效果，显示出了广阔的应用前景。