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- wyq61263603 2017-05-06 00:00:00
- 是的,一般使用大桶水(纯净水)或自己过滤纯净水。
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表1 不同纯水级别对硅含量的要求为什么要检测超纯水中硅的含量?1、硅的来源广
硅在自然界分布很广,在地壳中的原子百分含量为16.7%,以石英砂和硅酸盐的形成存在。土壤、黏土和砂子是天然硅酸盐岩石风化后的产物,可以说,硅无处不在。纯水的进水一般都来源自来水,自来水中溶解了部分来源丰富的硅酸盐。有人会说,Na+、Cl- 来源更广,为什么还要检测Si呢?那是因为硅酸是一种非常弱的酸,pKa为9.5,在水中不易电离,不能通过常规的水纯化技术有效地除去。
2、应用需求高
在电子工业用水和进行ppt级的痕量分析实验用水都要求将超纯水的硅含量降到Z低。在半导体/FPD工艺中,超纯水中硅的浓度会给产品精度、成品率和原材料利用率带来很大影响。在进行ppt级的痕量分析中,硅作为一种弱电离离子,其含量的变化对电阻率的影响甚小,所以不容易被发觉。在现有纯化技术中, RO对硅的去除率可以达到80%,EDI对硅的去除率可以达到99%[1]。用带有EDI模块的纯水机更适合为硅含量要求高的实验供水。
3、硅是评价水机纯化性能的重要指标
(1)硅是评价离子交换树脂吸附效果的重要依据离子交换树脂与硅的交换效率极易饱和,所以,硅是体现纯水机纯化柱质量好坏的标准之一。常规超纯水机离子交换树脂在寿命期内,硅是合格的。但是,在耗材使用接近末期,硅是Z先穿透离子交换柱进入产水的离子,在电阻率急剧下降前,就会出现这种硅穿透现象。在纯化柱将被耗尽的Z后时刻,大量的硅会在短时间内溶出到产水中。而且,硼穿透离子交换树脂也与溶解硅有很大的关联[2]。如果水机的纯化柱吸附效果差,是很难保证水中的硅离子被去除。
(2)硅是水机纯化能力的重要评价指标检测超纯水的硅含量可以评价水机的整体纯化性能,尤其新安装运行的水机,如果硅含量不达标,说明水机各个纯化模块的填料配比、流路设计不科学、不合理。权威机构的验证是衡量产品质量的重要依据,上海乐枫Genie 系列高端智能纯水系统的水质参数都通过了计量检测ZX的检测,包括GB6682-2008、GB/ T 33087-2016和ASTM D1193-2006(2011)等标准要求。[1] 闻瑞梅, 邓守权, 张亚峰, et al. 半导体工艺用高纯水中硅、硼的去除[J]. 电子学报, 2005, 33(2):197-199.
[2] Malhotra, S.; Chan, O.; Chu, T.; Fuckso, A.; “Correlation of Boron Breakthrough Versus Resistivity and Dissolved Silica in RO/DI System”, Ultrapure Water May/June 1996 pp 22-25. (1996)上海乐枫生物科技有限公司
上海乐枫(Rephile Bioscience,ltd.) 是一家专业从事高端水纯化和实验室分离纯化产品研发、设计和制造的高新技术企业,为高科技生物技术和生命科学领域的用户服务。乐枫公司着眼于发展,在ZG、美国、法国、印度、南非等近20个国家建立了销售机构,同时也为国际大型公司提供OEM和ODM,产品销往包括欧美的近100个国家。成立十余年,乐枫持续投入研发,创立出了自己的产品品牌RephiLe(瑞枫),推出了多个全新概念产品- 无线连接的Genie系列纯水系统和智能型大流量纯水工作站Super-Genie等,拥有了三十多项ZL和多个软件著作权。目前乐枫纯化柱填料配方齐全,也提供多款密理博纯水系统的兼容耗材。
关键词:纯水, 超纯水,, EDI,硅, 标准, 过滤, 无菌, RephiLe, Genie 纯水机, Super-Genie 纯水机
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