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广西师范大学RIE反应离子刻蚀机顺利验收

近日，NANO-MASTER工程师至广西师范大学，顺利安装验收NRE-3000型RIE反应离子刻蚀系统！

详细参数：

1.  腔体：10”直径的圆柱形腔体；阳极氧化铝材质，抗腐蚀性强；上下盖设计，气动升降顶盖，一键实现上盖的开启/闭合；淋浴头设计，最佳的气流均匀分布

2. 样品台：4”样品台；冷却功能；偏压功能，支持各向异性的垂直刻蚀；

3. 质量流量控制器：4路气体，每路包含MFC、气动截止阀和不锈钢管路气体

4. 真空系统：分子泵与机械泵，4分钟内可达10-4Torr的高工艺真空度，12小时抽气后，干净腔体中的压力可达极限真空6x10-7 Torr；分子泵与工艺腔体采用直连设计方案，具有最佳的真空传导率

5. 射频电源：13.56MHz，300W，反射功率≤5W，配套自动调谐器，稳定输出功率为95%

6. 控制系统：Lab View软件控制；四级密码授权访问；压力、流量、功率等主要参数指标实时显示；20”的监控屏幕

7. 系统信息：26”×26”占地面积；铝质柜体；完全的安全联锁

8. 主要工艺参数

（1）应用范围：有机物刻蚀、硅的化合物刻蚀、光刻胶去胶等；

（2）工艺参数：4”片为例；

（3）刻蚀均匀性优于：+/-3%；

（4）Si3N4的刻蚀速率：≥50nm/min；

（5）对PR选择比：≥1.5:1；

（6）陡直度：≥82°；

（7）SiO2的刻蚀速率：≥40nm/min；

（8）对PR选择比：≥1.5:1；

（9）陡直度：≥85°。

浙江师范大学生化学院种子资源库及低温实验操作间项目于6月22日顺利通过验收！

福州大学离子束刻蚀机顺利验收

烈日炎炎，热情满心间！后疫情时代，NANO-MASTER工程师步履不停，一站接一站为客户提供设备安装调试服务。首站福州大学，那诺-马斯特工程师已顺利安装验收NIE-3500型离子束刻蚀机！

性能配置：

• 离子束刻蚀机用于刻蚀金属和介质，z大可支持6”晶圆。

• 配套美国考夫曼-罗宾逊 KDC160离子枪，650mA，100-1200V。刻蚀速率：~250A/min对Au；刻蚀均匀度：对4”片，片内均匀性优于±3%，重复性优于±3%。

• 样品台可旋转，转速0-30RPM精确可控；可任意角度倾斜，支持斜齿刻蚀；带水冷功能，刻蚀后易去除光刻胶。

• 极限真空12小时可达6x10-7Torr，15分钟可达10-6Torr量级的真空；采用双真空计，长期可靠，使用稳定。

• 14”不锈钢立方腔体，配套一台主控计算机，20”触摸屏监控，配合Labview软件，实现计算机全自动工艺控制，并可在电源中断情况下安全恢复；完全的安全联锁；支持百级超净间使用。

  
  

验收培训：

安装调试视频：

反应离子刻蚀机是一款独立式RIE反应离子刻蚀系统，配套有淋浴头气体分布装置以及水冷RF样品。具有不锈钢柜子以及13"的上盖式圆柱形铝腔，便于晶圆片装载.腔体有两个端口：一个带有2"的视窗,另一个空置用于诊断。反应离子刻蚀机可以支持zui大到12"的晶圆片。腔体为超净设计，并且根据配套的真空泵可以达到10-6 Torr 或更小的极限真空。反应离子刻蚀机系统可以在20mTorr到8Torr之间的真空下工作。真空泵组包含一个节流阀，一个250l/s的涡轮分子泵，滤网过滤器，以及一个10cfm的机械泵(带Formblin泵油)。RF射频功率通过600W，13.56MHz的电源和自动调谐器提供。系统将持续监控直流自偏压，该自偏压可以高达-500V，这对于各向异性的刻蚀至关重要。

反应离子刻蚀机是基于PC控制的全自动系统。系统真空压力及DC直流偏压将以图形格式实时显示，流量及功率则以数字形式实时显示。系统提供密码保护的四级访问功能:操作员级、工程师级、工艺人员级，以及维护人员级。允许半自动模式(工程师模式)、写程序模式(工艺模式)，和全自动执行程序模式(操作模式)运行系统。基于全自动的控制，该系统具有高度的可重复性。
   
反应离子刻蚀机检验操作及判断
    1. 确认万用表工作正常，量程置于200mV。
    2.冷探针连接电压表的正电极，热探针与电压表的负极相连。
    3.用冷、热探针接触硅片一个边沿不相连的两个点，电压表显示这两点间的电压为正值，说明导电类型为P 型，刻蚀合格。相同的方法检测另外三个边沿的导电类型是否为P型。
    4.如果经过检验，任何一个边沿没有刻蚀合格，则这一批硅片需要重新装片，进行刻蚀。

季华实验室磁控溅射系统顺利验收

近日，NANO-MASTER工程师至季华实验室，顺利安装验收NSC-3500型磁控溅射系统！

磁控溅射系统主要用于半导体应用，同时也可以用于各种需要进行微纳工艺溅射镀膜的情形。可用于金属材料（金、银、铜、镍、铬等）的直流溅射、直流共溅射，绝缘材料（如陶瓷等）的射频溅射，以及反应溅射能力。基片可支持硅片，氧化硅片，玻璃片，以及对温度敏感的有机柔性基片等。

设备优势

01镀膜均匀性

对于最关键的镀膜的均匀性方面，对于6”硅片的金属材料镀膜，NANO-MASTER可以达到优于3%的镀膜均匀度，而一些设备只能稳定在5%甚至更高。

02设备制造工艺

在配备相似等级的分子泵及机械泵的情况下，NANO-MASTER具有更快的抽真空速率，比如可以在20-25分钟左右就达到高真空工艺，而一些设备则需要30-40分钟。腔体真空的稳定度影响镀膜的性能。

03工艺的可重复性

NANO-MASTER设备在工艺控制方面，有更高的自动化能力，通过PC控制，减少人工干预造成的工艺偏差。而一些设备要求人工配合，导致不同人采用同样的工艺做出来的效果不同，甚至同一个人在不同时间运行相同的工艺做出来的效果也不同。

04设备紧凑性

一些设备在满足相同性能情况下，由于加工的精密度方面的差距，造成设备比较庞大，占地面积较大，使得实验室宝贵的空间被占用严重。而NANO-MASTER设备相对而言具有更紧凑的设计，占地面积也较小。

05设备稳定性

进口设备的维护率较低，可以保证设备较长时间的稳定运行，而一些设备的故障率高，不利于设备的稳定使用，经常因为故障影响实验的正常进行，影响科研进度。

反应离子刻蚀

概述：

反应离子腐蚀技术是一种各向异性很强、选择性高的干法腐蚀技术。它是在真空系统中利用分子气体等离子来进行刻蚀的，利用了离子诱导化学反应来实现各向异性刻蚀，即是利用离子能量来使被刻蚀层的表面形成容易刻蚀的损伤层和促进化学反应，同时离子还可清除表面生成物以露出清洁的刻蚀表面的作用。主要用于Si、SiO2、SiNx、半导体材料、聚合物、金属的刻蚀以及光刻胶的去除等，广泛应用于物理，生物，化学，材料，电子等领域。

工作原理：

通常情况下，反应离子刻蚀机的整个真空壁接地, 作为阳极, 阴极是功率电极, 阴极侧面的接地屏蔽罩可防止功率电极受到溅射。要腐蚀的基片放在功率电极上。腐蚀气体按照一定的工作压力和搭配比例充满整个反应室。对反应腔中的腐蚀气体, 加上大于气体击穿临界值的高频电场, 在强电场作用下, 被高频电场加速的杂散电子与气体分子或原子进行随机碰撞, 当电子能量大到一定程度时, 随机碰撞变为非弹性碰撞, 产生二次电子发射, 它们又进一步与气体分子碰撞, 不断激发或电离气体分子。这种激烈碰撞引起电离和复合。当电子的产生和消失过程达到平衡时, 放电能继续不断地维持下去。由非弹性碰撞产生的离子、电子及及游离基(游离态的原子、分子或原子团) 也称为等离子体, 具有很强的化学活性, 可与被刻蚀样品表面的原子起化学反应, 形成挥发性物质, 达到腐蚀样品表层的目的。同时, 由于阴极附近的电场方向垂直于阴极表面, 高能离子在一定的工作压力下, 垂直地射向样品表面, 进行物理轰击, 使得反应离子刻蚀具有很好的各向异性。所以，反应离子刻蚀包括物理和化学刻蚀两者的结合。

刻蚀气体的选择

对于多晶硅栅电极的刻蚀，腐蚀气体可用Cl2或SF6，要求对其下层的栅氧化膜具有高的选择比。刻蚀单晶硅的腐蚀气体可用Cl2/SF6或SiCl4/Cl2；刻蚀SiO2的腐蚀气体可用CHF3或CF4/H2；刻蚀Si3N4的腐蚀气体可用CF4/O2、SF6/O2或CH2F2/CHF3/O2；刻蚀Al（或Al-Si-Cu合金）的腐蚀气体可用Cl2、BCl3或SiCl4；刻蚀W的腐蚀气体可用SF6或CF4；刻蚀光刻胶的腐蚀气体可用氧气。

对于石英材料, 可选择气体种类较多, 比如CF4、CF4+ H2、CHF3 等。我们选用CHF3 气体作为石英的腐蚀气体。其反应过程可表示为：CHF3 + e——CHF+2 + F (游离基) + 2e，SiO 2 + 4F SiF4 (气体) + O 2 (气体)。SiO 2 分解出来的氧离子在高压下与CHF+2 基团反应， 生成CO ↑、CO 2↑、H2O ↑、O F↑等多种挥发性气体。

对于锗材料、选用含F 的气体是十分有效的。然而, 当气体成份中含有氢时, 刻蚀将受到严重阻碍, 这是因为氢可以和氟原子结合, 形成稳定的HF, 这种双原子HF 是不参与腐蚀的。实验证明, SF6 气体对Ge 有很好的腐蚀作用。反应过程可表示为：SF6 + e——SF+5 + F (游离基) + 2e，Ge + 4F——GeF4 (挥发性气体)   。

设备：

典型的（平行板）RIE系统包括圆柱形真空室，晶片盘位于室的底部。晶片盘与腔室的其余部分电隔离。气体通过腔室顶部的小入口进入，并通过底部离开真空泵系统。所用气体的类型和数量取决于蚀刻工艺;例如，六氟化硫通常用于蚀刻硅。通过调节气体流速和/或调节排气孔，气体压力通常保持在几毫托和几百毫托之间的范围内。

存在其他类型的RIE系统，包括电感耦合等离子体（ICP）RIE。在这种类型的系统中，利用RF供电的磁场产生等离子体。虽然蚀刻轮廓倾向于更加各向同性，但可以实现非常高的等离子体密度。

平行板和电感耦合等离子体RIE的组合是可能的。在该系统中，ICP被用作高密度离子源，其增加了蚀刻速率，而单独的RF偏压被施加到衬底（硅晶片）以在衬底附近产生定向电场以实现更多的各向异性蚀刻轮廓。

操作方法：

通过向晶片盘片施加强RF（射频）电磁场，在系统中启动等离子体。该场通常设定为13.56兆赫兹的频率，施加在几百瓦特。振荡电场通过剥离电子来电离气体分子，从而产生等离子体 。

在场的每个循环中，电子在室中上下电加速，有时撞击室的上壁和晶片盘。同时，响应于RF电场，更大质量的离子移动相对较少。当电子被吸收到腔室壁中时，它们被简单地送到地面并且不会改变系统的电子状态。然而，沉积在晶片盘片上的电子由于其DC隔离而导致盘片积聚电荷。这种电荷积聚在盘片上产生大的负电压，通常约为几百伏。由于与自由电子相比较高的正离子浓度，等离子体本身产生略微正电荷。

由于大的电压差，正离子倾向于朝向晶片盘漂移，在晶片盘中它们与待蚀刻的样品碰撞。离子与样品表面上的材料发生化学反应，但也可以通过转移一些动能来敲除（溅射）某些材料。由于反应离子的大部分垂直传递，反应离子蚀刻可以产生非常各向异性的蚀刻轮廓，这与湿化学蚀刻的典型各向同性轮廓形成对比。

RIE系统中的蚀刻条件很大程度上取决于许多工艺参数，例如压力，气体流量和RF功率。 RIE的改进版本是深反应离子蚀刻，用于挖掘深部特征。

近日，延边朝鲜族自治州检验检测中心（国家参茸产品质量监督检验中心）与青软青之合作建设的实验室信息管理系统（LIMS）项目顺利验收，该项目有机结合了先进的信息化技术和实验室管理手段，立足于公共实验平台建设和使用的需要，以实现检测工作的管理规范化和运作现代化。

基于前期对延边朝鲜族自治州检验检测中心（国家参茸产品质量监督检验中心）进行的全面实地调研和需求分析，青软青之组建了经验丰富的开发团队，全力配合项目进行实验室信息管理系统开发工作，为用户建立了多基地、多专业的检测信息管理系统。

通过青之实验室信息管理系统King'sLIMS的建设，协同完成了国家参茸产品质量监督检验中心业务模式与质检中心综合性检验检测业务的可视化展示，实现自动化、流程化、标准化，形成互联互通、信息共享、业务协同的管理模式。通过LIMS系统对业务资源的整合，实现对全局系统各实验室的资源（包括人员、设备、实验材料、实验环境、检测技术能力等）、检验检测业务工作流程、电子原始记录、微信服务、数据查询与统计等实行统筹管理，使其能更好地为科学检验提供可靠的实验数据和精准的决策信息，有效提高技术保障水平和工作效率，实现了检测中心管理水平和行业竞争力的全面提升。 

      青软青之承建的广东恒兴饲料实业股份有限公司实验室信息管理系统(LIMS）日前已顺利上线运行,并通过验收。此系统立足于实验室质量管理体系，按照质检实验室的工作要求和建设标准,对影响质量的要素进行全面管理和控制。

     自项目成立以来，实验室信息管理系统的建设在双方密切配合下，经过服务器部署、需求调研、软件内测、流程调整等工作环节，实现了检验检测业务过程管理、数据采集、仪器管理、质量管理、网上受理等功能，规范了数据的标准化，完善了工作流的可配置性，解决了质量管理的可追溯性，达到精益化管理的目标。该系统上线后，大大提高了工作的便捷性与有效性的统一，同时也提高了公司运营管控与主营业务发展的信息化能力。

近日，NANO-MASTER工程师至浙江中宁硅业有限公司，顺利安装验收NPE-3500型PECVD等离子体化学气相沉积设备！

NANO-MASTER的PECVD系统能够沉积高质量的SiO2、Si3N4、CNT、DLC和SiC等薄膜。可应用于等离子诱导表面改性、等离子清洗、等离子聚合等。根据不同应用，可选用RF、HCP、ICP或MW微波等多种规格的离子源。标准样品台尺寸有6”和8”可选，最高可定制到16”或者其他更大的尺寸，样品台可提供RF、Pulse DC或DC偏压。样品台可提供电阻加热或红外灯加热。

系统标配涡轮分子泵和机械泵，极限真空到5*10-7Torr，腔体压力调节通过PC自动控制涡轮速度而全自动调节，快速稳定。

工艺过程通过触摸监控屏幕和Labview软件，可实现全自动的PC控制，具有高度的可重复性。系统具有完整的安全联锁，提供四级密码授权访问保护。能直接研发和量产应用。

NANO-MASTER的PECVD等离子体化学气相沉积选配项

验收培训

       近日，青软青之与新疆生产建设兵团第三师食品药品检验所共建的实验室信息管理系统(LIMS)项目顺利完成验收工作。

       青软青之与新疆生产建设兵团第三师食品药品检验所经过三个多月的紧密合作，目前，搭建的LIMS平台已顺利完成测试、上线、验收等一系列工作。

       本次LIMS平台项目实施范围主要涉及新疆生产建设兵团第三师食品药品检验所的样本部、检测部、验证报告部等部门。青之LIMS系统通过检验业务流程管理、实验室资源管理、质量保证和质量控制管理、客户服务平台、统计查询等功能，全面覆盖新疆生产建设兵团第三师食品药品检验所各领域、各类型的检验检测业务，显著提升实验室食品药品检验检测工作的效率，助力新疆生产建设兵团第三师食品药品检验所实现实验室一体化管理，为新疆生产建设兵团第三师食品药品检验所推动实验室信息化建设、提高检验业务规范化管理水平打下坚实的基础。 

       近日，青软青之承建的德阳市自来水公司实验室信息管理系统（LIMS）项目顺利验收。

       德阳市自来水公司作为德阳市城市公共供水公用事业单位，主要承担着保障德阳城市公共供水任务。本次上线的实验室信息管理系统解决了德阳市自来水公司现场检测业务电子化的需求，也进一步提升了德阳市自来水公司水质检测、水质化验、水质分析工作的标准化、规范化、统一化要求。

       为突破传统，实现对实验室设备资源有效的管理以及信息资源的加工、挖掘和分析，青软青之协助德阳市自来水公司搭建的实验室信息管理平台，实现对全局系统的资源、检验检测业务工作流程、数据查询与统计、水质监测系统的数据对接等实行统筹管理。在检验业务电子化后，还能实现检验信息共享，使德阳市自来水公司告别传统检验信息流通慢，实现了实验数据互联互通，监测 中 心 工作效率有了很大提升。

近日，青软青之承建的德阳市自来水公司实验室信息管理系统（LIMS）项目顺利验收。

德阳市自来水公司作为德阳市城市公共供水公用事业单位，主要承担着保障德阳城市公共供水任务。本次上线的实验室信息管理系统解决了德阳市自来水公司现场检测业务电子化的需求，也进一步提升了德阳市自来水公司水质检测、水质化验、水质分析工作的标准化、规范化、统一化要求。

为突破传统，实现对实验室设备资源有效的管理以及信息资源的加工、挖掘和分析，青软青之协助德阳市自来水公司搭建的实验室信息管理平台，实现对全局系统的资源、检验检测业务工作流程、数据查询与统计、水质监测系统的数据对接等实行统筹管理。在检验业务电子化后，还能实现检验信息共享，使德阳市自来水公司告别传统检验信息流通慢，实现了实验数据互联互通，监测 中 心工作效率有了很大提升。

近日，由青软青之承接的宁德市产品质量检验所实验室信息管理系统（LIMS）项目完成竣工验收工作。

项目背景

宁德市产品质量检验所作为专业从事产品检测、质量鉴定、技术咨询、监督抽查、标准制修定等工作的权威质检机构，同时需要满足市场监管总局的食品国抽的任务。随着各项业务的快速开展，实验室的业务量也不断增加，实现检测业务的“规范化、自动化、信息化、整体化”成为检验所的重中之重。

实施目标

青软青之与宁德市产品质量检验所历经4个月的紧密合作，搭建的青之LIMS平台经历了项目启动、需求调研、蓝图设计、配置实现、功能测试、试运行与上线等一系列工作，为宁德市产品质量检验所建立起了一套完整全面的、适用于其自身发展的实验室信息管理平台，实现了实验室全流程的自动化、无纸化办公。

通过本次项目的成功实施，实现了对检测结果的记录、存储、查询以及质量追溯等多维度需求，宁德市产品质量检验所检验业务的自动化程度和规范化管理水平均得到有效提升。

       近日，由青软青之承建的云南云测质量检验有限公司（简称“云测质检”）实验室信息化管理系统升级项目顺利通过竣工验收，为云测质检实验室的信息建设和发展提供了强有力的帮助。

       云南云测质量检验有限公司创立于2011年6月，是获得中国合格评定国家认可委员会（CNAS）认可的非政府性检验机构（证书编号：CNAS L6855），在认可范围内可使用CNAS国家实验室认可标志和ILAC国际互认联合标志，出具的数据获得国际互认。从事食品、农业、环境、中药材、公共卫生、化工、纺织等领域的质量检测和标准化服务工作。

       云测质检服务场地总面积约9222.25平米，其中实验室面积8000平米；拥有国际先进的三重四级杆液相色谱串级质谱联用仪、气相色谱串级质谱联用仪、液相色谱/质谱联用仪、气相色谱/质谱联用仪、离子色谱仪、电感耦合等离子体质谱仪、电感耦合等离子体发射光谱仪、连续流动分析仪、全自动凯氏蛋白测定仪、微波消解系统、顶空进样系统、全自动吹扫补集装置等大型仪器设备；以及大型仪器室、理化实验室、P2级微生物实验室等检验场所。

       云测质检成立后就开始逐步推进信息化建设，于2016年便启用了青软青之基于B/S架构开发的实验室信息管理系统，在实验、检测等业务板块流程化、模块化、标准化管理中发挥着重要作用。但是，随着云测质检不间断运行，其能力不断增强，服务范围和服务规模的扩大，为更好的适应云测质检管理和业务变革需要，青软青之为其升级了LIMS系统。

基于原实验室信息管理系统业务敏捷性和应用拓展性，为系统整合和资源共享创造了条件，此次系统升级除了实现原有的系统功能外，在提升业务流程智能化、便利化水平的同时，创新了管理模式，全方位提升了应用性能，从而促进企业精细化、智能化的质量管理水平，提升企业竞争力。

       近日，湖北省普林标准技术服务有限公司与青软青之共建的实验室信息管理系统(LIMS)项目顺利通过验收，并正式上线。

      湖北省普林标准技术服务有限公司是一家提供第三方检测服务和专业技术咨询服务的综合型科技公司，为食品、日用品、化妆品、健康相关产品（消毒、涉水）、药品、医 疗器械、公共卫生、环境等行业和相关领域提供一站式的服务方案。普林标准技术服务有限公司总部设在武汉，拥有2000多平米符合ISO17025国际标准要求的综合型实验室，公司具备行业内先进的检测仪器设备如GC-MS, LC-MS, ICP-MS, ICP-OES, AFS等，可为客户提供从产品研发、标准制定、人员培训、质量检测、包装设计审核等一条龙服务。

       随着各项业务的快速开展，湖北省普林标准技术服务有限公司的业务量在不断增加，部门之间的信息互通的需求越来越强烈，为此，青软青之紧密贴合用户的需求为其打造了跨部门、跨平台的综合信息管理平台。青之实验室信息管理系统(LIMS)在整合了耗材、设备和人力资源等多个部门的资产管理的基础上，提供了检测业务流程管理、质量管理、数据标准管理、数据查询分析、原始记录无纸化等功能，大大提高了管理的精细化和自动化程度，有力提升了实验室的管理效率，释放实验室的工作效能，为实验室管理者做出科学性决策提供依据。

        近日，黄冈大别山检测认证有限公司对青之实验室信息管理系统(LIMS)升级改造进行了验收测试。

       本次LIMS系统升级针对黄冈大别山检测认证有限公司实际业务提供了面向专业第三方检测机构且集检测业务管理，资源管理，质控管理，数据管理，报告管理等诸多模块为一体的实验室信息管理系统。同时，成功对接国抽数据上报系统，解决了实验室人员在数据录入时的重复工作问题，大幅度提高了工作效率， 高 效 便捷的缩短了任务周期。在整个实验室信息管理系统（LIMS）升级的过程中，平台功能、性能和稳定性，数据安全性方面都有了很大提升和完善，青之LIMS系统通过对检测各关键环节的信息化管理融入黄冈大别山检测认证有限公司经营管理的环节中，将会全面提高合规水平与客户服务能力。

客户简介：

       黄冈大别山检测认证有限公司于2016年03月08日成立，是经湖北省财政厅和湖北省质量技术监督局批准同意的具有独立法人资格的国有综合性检验检测机构。2018年7月30日，经黄冈市财政局和国资委批准，成为黄冈白潭湖投资发展有限公司的全资子公司。黄冈大别山检测认证有限公司拥有一批技术优良、结构合理、具有敬业创新精神的技术团队与服务人员，为客户提供公正、快捷、优质、 高 效 的技术服务，能够为政府部门、企业、消费者提供一站式的全面质量解决方案，满足其对产品品质的更高要求。公司专业从事产品的检测、检验及授权仲裁鉴定、认证咨询服务。检验能力涵盖食品 及相关产品、轻工日用品、能源化工产品、机械电气、建筑及装饰材料等30大类，具备1288个检验产品，3795个检验参数，检验能力位居湖北省检验机构前列。

近期，由青软青之与河北众标通检测科技有限公司共同建设的实验室信息管理系统项目顺利验收。该系统旨在提高实验室的工作效率，降低实验室管理成本，提升实验室的管理水平。

河北众标通检测科技有限公司是一家满足社会需要的多领域检测、全方位评价的综合机构。拥有室内外环境空气检测服务、公共场所卫生检测服务、生活饮用水检测服务、洁净室空气检测服务；室内环境氡、甲醛、氨、苯等挥发性有机化合物检测服务；噪音检测服务；水和废水检测；食品检验服务；通风系统检测；环境辐射检测；防雷装置检测；计量器具检测等。

结合河北众标通检测科技有限公司质量管理业务的实际需求，青软青之为其构建了标准化的实验室试验流程，实现了从收样、入库、试验、出库、处置等全方位的管理。青之实验室信息管理系统的上线使用，将进一步实现河北众标通检测科技有限公司数据的标准化、规范化、统一化要求，提高日常工作效率，提升检验检测工作的规范性、公正性和科学性，进而提升河北众标通检测科技有限公司综合服务质量和科学管理水平。