真空镀膜中真空系统的工作原理是什么?
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真空室，粗抽泵，前级泵，罗茨泵，分子（扩散泵），上下位阀，高阀，节流阀，放气阀， 热偶规，电离规，波纹管，等器件他们的工作流程是什么?各起到什么作用。谢谢指教.20分悬赏，《家底了>
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- 武义专治疗男科 2013-01-09 00:00:00
- 大哥 你去论坛问比这好 那里人多 ，要么去水业导航上搜搜 应该能找到答案
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- 紫の泉 2013-01-04 00:00:00
- 买本书看吧，
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- 752377662 2013-01-07 00:00:00
- 1，粗抽泵（统称机械泵）他的排气口，直接排放到大气，但极限（能力）小。范围（1E0~大气压） 2，罗茨泵，必须在排气口接一个机械泵，工作范围（5E-2~1000Pa)，如果没达到工作范围（1000Pa)以上的真空度，运转罗茨泵，使负载大，烧坏罗茨泵的。 3，分子泵（油扩散泵）：以扩散泵为例，工作范围（1E-7Pa~5pa)，排气口压力高于5Pa(正常9E-1Pa)，低于，扩散泵不起作用，还会使扩散泵油氧化。 4，粗抽阀，是机械泵开启后，开启粗抽阀，。。。。 下班了，你用的话，以后再答，我是做真空设备的
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- 图拉zz 2013-01-03 00:00:00
- 维持泵是微抽扩散泵的真空，机械泵是起粗抽真空室的大气，罗茨泵是起到增加压力帮助机械泵精抽的，扩散泵需要加热……太烦了说不清楚
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- 7312180551 2017-09-11 13:41:51
- 原因如下： 真空镀膜主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。需要镀膜的被成为基片，镀的材料被成为靶材。基片与靶材同在真空腔中。
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阻抗分析仪能在阻抗范围和宽频率范围进行精确测量，它利用物体具有不同的导电作用，在物体表面加一固定的低电平电流时，通过阻抗计算出物体的各种器件、设备参数和性能优劣。
阻抗分析仪的工作原理
阻抗分析仪可以测量和评定要与电路匹配.
对于压电陶瓷片,可以直接从导纳圆图和对数坐标判断器件优劣,如果陶瓷片内部出现分层,或者出现裂纹,对数曲线将出现多峰,导纳圆图上出现多个寄生小圆.
对于变幅杆的设计、加工和装配,是否合理或有缺陷,直接在导圆图上明显的可以看到.
对于超声波焊接机的生产加工,利用导纳圆的结果分析焊接机的状态,通过参数和图形的分析,找到焊接机存在的问题.
对于超声清洗机的生产和加工:振动子的选择要求其振动性能尽可能一致(带宽、品质因数、谐振频率、动态阻抗) .在导纳圆图上,尽可能没有寄生圆或在谐振点附近没有寄生圆.可以对换能器的制造、来料检验、粘结后的换能器、清洗机进行阻抗特性分析和测量.对清洗机的整机测量可以标定机器的谐振频率和静电容,以便匹配电源,可以分析其新的谐振点、注水后的阻抗、电容及整机的振动模态的特性.阻抗分析仪的产品应用
主要适用对象为各类超声器件阻抗特性的测量，包括:压电陶瓷、换能器、超声清洗机、超声塑焊机、水声、磁致伸缩材料、超声粉碎机、超声雾化、超声洁牙、、超声测距、超声乳化、超声除垢、超声马达等等所有使用超声的设备。
阻抗分析仪的特点易用、指标和图形相结合、参数准确、价格低廉、对生产的可指导性非常强等。
对压电器件的进行阻抗测量是正确使用器件的前提条件。对于压电器件，通过阻抗分析仪可以得到其主要参数，包括:谐振频率Fs、反谐振频率Fp、半功率点F1与F2、大导纳Gmax、静电容C0、动态电抗R1、动态电容C1、动态电感L1、自由电容CT、自由介电常数、机械品质因素Qm、机电耦合系数Keff、Kp、K31、K33等，并可以绘制压电器件的五种特性曲线(导纳特性图、阻抗特性图、导纳极坐标图、阻抗极坐标图、对数坐标图)。
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