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- kucdaswt 2017-07-23 00:00:00
- 溅射比蒸镀和工作真空低一个数量级,所以膜层的含气量要比蒸镀高. 蒸镀不适用于高溶点材料,如钼,钨,~~等.因为溶点高,蒸发太慢,而溅射的速度比蒸镀快很多. 溅射不适用于低硬度材料,如非金属材料. 溅射不适用于非导电材料. 蒸镀不能控制厚度,而溅射可以用时间控制厚度. 蒸镀不适应大规模的生产. 蒸镀的电子动能比溅射小很多,虽然含气量少,但是膜层易脱落, 溅射的膜均匀,蒸镀的膜ZX点厚,四周薄. 在国内蒸镀工艺比溅射工艺成熟. 当然还有很多,一会也说不完.就看你主要想知道什么.
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