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- 6英寸晶圆检测显微镜:可靠观察细微高度差异
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本文由 徕卡显微系统(上海)贸易有限公司 整理汇编
2024-08-22 14:48 78阅读次数
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电子和半导体行业如何从用于半导体组件检测的自动化和可重复的DIC显微镜中受益
电子和半导体行业如何从用于半导体组件检测的自动化和可重复的DIC显微镜中受益 在半导体器件生产过程中,晶圆检验对于识别和减少可能影响器件性能的缺陷至关重要。为了提高检验的精确性和效率,光 学显微镜方案应结合不同的对比方法,提供关于图案化晶圆上可能存在的任何缺陷的准确可靠信息。其中,在晶圆检验中起 重要作用的一种对比方法是微分干涉对比(DIC)。
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