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NANO-MASTER 的NIE-4000 反应离子束刻蚀系统，通过加速的 Ar 离子进行物理刻蚀或铣削、配合活性气体可以实现化学反应，可以增加离子束刻蚀的效率和选择比。整个系统为独立式的完整系统，可以提供高均匀性高性能的 RIBE 刻蚀工艺。系统采用超净设计，可支持百级超净间使用。