激光刻蚀机结构和分类
采用高能量的激光光束对材料表面进行照射,通过对基材表面的导电材料的剥离,使线路形成或者使一定的阻值达到,从而使刻蚀的目的达到的仪器,称为激光刻蚀机。下面就让小编带你了解一下激光刻的结构和分类。
激光刻蚀机结构:
激光器、XY直线工作台、驱动器、工控机、高速振镜、聚焦透镜、系统控制软件、定位系统、抽尘系统、真吸附空系统、外光路、机台等均属于激光刻蚀机的主要构成部件。可以使大尺寸与高精度拼接加工的需求得到有效的满足
激光刻蚀机分类
超快激光刻蚀机(皮秒、飞秒)
如石墨烯、油墨、钙钛矿电池P2刻蚀以及碳粉刻蚀等无机材料或导电金属材料采用皮秒激光或飞秒激光来进行刻蚀,对材料有着更加小的热影响为超快激光刻蚀机的优势。所以和纳秒紫外激光刻蚀机相比较,刻蚀有着更加精细线宽,会产生更加好的加工效果,可以对如钙钛矿电池等多层材料进行蚀刻。
纳秒紫外激光刻蚀机
电子行业为紫外激光刻蚀机的主要适用领域,例如传感器蚀刻,一般也能够应用于激光调阻,铜薄膜刻蚀较为常见。能够刻蚀更加精细的线条,与此同时不会对薄膜有所损伤,可以使导通性及阻值的要求得到十分有效的保证,并且可以按照需求随时进行调整为纳秒紫外激光刻蚀机所具有的十分明显的优势。
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