微波PECVD于中科院深圳先进院4周年
NANO-MASTER的微波PECVD系统产品应用于中科院深圳先进技术研究院,该系统即将配套远程微波等离子源,带直流偏压,支持高达900度的样品台加热,提供精确的控温,该系统可以支持石墨烯和CNT碳纳米管阵列。
根据客户要求,配套的远程微波源将真正实现对所沉积薄膜的无损伤。高温可以支持碳类薄膜的应用,在等离子作用下,实际的应用温度将得以大大降低。系统将采用计算机全自动的工艺控制,配套的软件将方便用户实现高重复性地沉积应用。该系统所采用的紧凑设计,将大大节省实验室的空间,并可以支持百级的超净间使用。
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