仪器网（yiqi.com）欢迎您！

SEMICON 2021

会议地点：上海新国际博览ZX

展位号：N5135

会议时间：2021 年 3 月 17 - 19 日

强强联手

2021 年 3 月 17 - 19 日，ZD规模半导体年度盛会 SEMICON China 2021 将在上海新国际博览ZX举行。届时，飞纳电镜将携手赛默飞，在 N5135 展台为您带来研究领域zui高品质的电镜盛宴。

飞纳电镜展出型号 Phenom  XL

全新一代飞纳台式扫描电镜大样品室ZY版

飞纳电镜在半导体行业的应用

●印刷线路板 PCB (Printed Circuit Board)

案例一：由于 PCB 板上焊锡球形貌具有差异性，会造成 PCB 板基板和焊点之间存在 Gap，进而影响元器件性能，因此需要使用 SEM 观察接点是否存在 Gap。

PCB 板Z左侧未观察到 Gap

PCB 板Z右侧观察到 Gap

案例二：通过 SEM+EDS 来观察并检测 PCB 板镀金层是否被氧化

PCB 镀金层表面的背散射电子图片及成分分布图

被氧化部位 (上) 及未被氧化部位 (下) 能谱对比图

●芯片 IC (Integrated Circuit)

通常使用扫描电镜（SEM）观察 IC 芯片表面的线路是否有缺陷：

IC 芯片

Delayer 后 IC 芯片的观察，需要逐层剥离进行观察每层的芯片是否存在缺陷。使用常规的机械研磨的方式，很容易破坏芯片表面，因此推荐使用离子研磨仪进行逐层研磨。

飞纳台式电镜的搭档：Technoorg Linda 离子研磨

除了了解飞纳台式扫描电镜的ZXJS进展及其在电子和半导体行业的解决方案；您还将了解赛默飞提供的关于电子和半导体行业整体解决方案，包含电性失效定位以及 SEM、FIB、 TEM 等物性失效验证，结合软件整合方案， 能够洞悉三维微观世界，助您加快产品缺陷识别和研发进程，实现过程监控，良率提升，及时抢占市场。

我们真诚邀请您莅临飞纳电镜展位（展位号: N5135），与我们的技术专家探讨您的问题。